الأنظمة الكهروضوئية الدقيقة

تُعرف الأنظمة الكهروميكانيكية الضوئية الدقيقة ( MOEMS )، أو الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة البصرية ( MEMS )، بأنها أنظمة متكاملة تجمع بين الأنظمة الميكانيكية والبصرية والكهربائية، وتتمثل وظيفتها في استشعار الإشارات الضوئية أو معالجتها على نطاق متناهي الصغر. تشمل هذه الأنظمة مجموعة واسعة من الأجهزة، مثل المفاتيح الضوئية ، والموصلات الضوئية ، وليزر VCSEL القابل للضبط ، والميكروبولومترات . تُصنع هذه الأجهزة عادةً باستخدام تقنيات البصريات الدقيقة وتقنيات التصنيع الدقيق القياسية، وذلك باستخدام مواد مثل السيليكون، وثاني أكسيد السيليكون ، ونيتريد السيليكون ، وأرسينيد الغاليوم .

تتضمن تقنية الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MOEMS) تقنيتين رئيسيتين ، هما الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والبصريات الدقيقة. وتعتمد كلتا التقنيتين بشكل مستقل على المعالجة الدفعية المشابهة للدوائر المتكاملة، والتصنيع الدقيق المشابه لتصنيع المجسات الدقيقة.

خلال الفترة من 1991 إلى 1993، استخدم الدكتور إم. إدوارد موتاميدي، المبتكر السابق في شركة روكويل الدولية في مجالي الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والبصريات الدقيقة ، اختصار MOEMS داخليًا للدلالة على الأنظمة الكهروميكانيكية الضوئية الدقيقة. وكان الهدف من ذلك التمييز بين الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة البصرية (MEMS) والأنظمة الكهروميكانيكية الضوئية الدقيقة (MOEMS)، حيث يمكن أن تتضمن الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة البصرية مكونات بصرية ضخمة، بينما تعتمد الأنظمة الكهروميكانيكية الضوئية الدقيقة بشكل أساسي على تقنية التصنيع الدقيق، حيث تُصنّع أجهزة MOEMS على دفعات تمامًا مثل الدوائر المتكاملة، وهو ما لا ينطبق في معظم الحالات على الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة البصرية.

في عام ١٩٩٣، قدّم الدكتور معتمدي رسميًا تقنية MOEMS لأول مرة، باعتبارها مزيجًا قويًا من تقنية MEMS والبصريات الدقيقة، وذلك في محاضرة مدعوة في مؤتمر SPIE للمراجعات النقدية لعلوم وتكنولوجيا البصريات في سان دييغو. وفي هذه المحاضرة، عرض الدكتور معتمدي الشكل الموضح أدناه، لبيان أن تقنية MOEMS هي تفاعل بين ثلاث تقنيات دقيقة رئيسية؛ وهي: البصريات الدقيقة، والميكانيكا الدقيقة، والإلكترونيات الدقيقة. ^{[ ١ ]}

• الأنظمة الكهروضوئية الدقيقة
• الأنظمة النانوية الكهروميكانيكية
• التصنيع الدقيق
• الماسح الضوئي الصغير

• راي-تشودري، ب.، محرر. (2000). الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة الضوئية. التكنولوجيا والتطبيقات . مطبعة SPIE. ISBN 978-0-8194-3716-7.
• سولغارد، أو.؛ ​​غوديل، أ.أ.؛ هاو، ر.ت.؛ لي، ل.ب .؛ بيتر، ي.-أ.؛ زابي، هـ. (يونيو 2014). "الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة البصرية: من المرايا الدقيقة إلى الأنظمة المعقدة". مجلة الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة . 23 (3): 517-538 . Bibcode : 2014JMemS..23..517S . doi : 10.1109/JMEMS.2014.2319266 .