الترسيب الجزيئي للبخار

📅 آخر تحديث: ٤ أغسطس ٢٠٢٦
✍️ نُشر في: ٤ أغسطس ٢٠٢٦
الموسوعة الحرة

الترسيب الجزيئي للبخار هو تفاعل في الطور الغازي بين مواد كيميائية سطحية متفاعلة وسطح مناسب لاستقبالها. [ 1 ] [ 2 ]

تُستخدم عادةً مركبات السيلان ثنائية الوظيفة، حيث يكون أحد طرفي الجزيء نشطًا كيميائيًا. على سبيل المثال، يمكن لمركب الكلوروسيلان الوظيفي (R-Si-Cl 3 ) أن يتفاعل مع مجموعات الهيدروكسيل السطحية (-OH)، مما يؤدي إلى ترسب جذري (R) على السطح.

تتمثل ميزة التفاعل في الطور الغازي على نظيره في الطور السائل في التحكم في الرطوبة المحيطة، والتي غالبًا ما تؤدي إلى بلمرة متقاطعة للسيليان، مما ينتج عنه جزيئات على السطح المعالج. ويُستخدم عادةً حجرة تفريغ مُسخّنة تحت الضغط الجوي [ 3 ] للتحكم الدقيق في المواد المتفاعلة ومحتوى الماء. إضافةً إلى ذلك، يُسهّل التفاعل في الطور الغازي معالجة الأجزاء المعقدة، نظرًا لأن تغطية المادة المتفاعلة تكون محدودة بالانتشار. وتستخدم مستشعرات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة ( MEMS ) غالبًا تقنية الترسيب الجزيئي للبخار لمعالجة الالتصاق السطحي وغيره من المشكلات الطفيلية المتعلقة بالتفاعلات بين الأسطح.

مراجع

  1. ↑ جيف تشين، بوريس كوبرين، فيكتور فوينتيس، سريكانث داسارادي، ريتشارد يي، روموالد نواك، روبرت آشورست، رويا مابوديان، الترسيب الجزيئي للبخار (MVD) - طريقة جديدة لتعديل سطح الأجهزة المصنعة بتقنية النانو، هيلتون هيد 2004: ورشة عمل حول أجهزة الاستشعار والمحركات والأنظمة الدقيقة ذات الحالة الصلبة، 6-10 يونيو 2004
  2. ↑ ب. كوبرين، دبليو آر أشهورست، آر مابوديان، في فوينتيس، آر نواك، آر يي، وجيه تشين، تقنية الترسيب الميكروي الفيزيائي لتعديل الأسطح، الاجتماع السنوي للمعهد الأمريكي للمهندسين الكيميائيين 2004، 8 نوفمبر، أوستن، تكساس
  3. ↑ "نظام طلاء RGM-210" . مؤرشف من الأصل بتاريخ 15-11-2015 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 12-07-2015 .