معالجة البلازما

معالجة البلازما هي تقنية لمعالجة المواد تعتمد على البلازما وتهدف إلى تعديل الخصائص الكيميائية والفيزيائية للسطح. [ 1 ]

تشمل تقنيات معالجة البلازما ما يلي:

تشمل المواضيع ذات الصلة كيمياء البلازما ، والترسيب الكيميائي للبخار ، وعمليات الترسيب الفيزيائي للبخار مثل الترسيب بالرش ، والتطعيم الأيوني بالبلازما، والرش البلازمي الفراغي ، والحفر الأيوني التفاعلي .

مراجع

  1. المجلس الوطني للبحوث (1991). معالجة المواد بالبلازما: الفرص العلمية والتحديات التكنولوجية . واشنطن العاصمة: مطبعة الأكاديميات الوطنية. doi : 10.17226/1875 . ISBN 978-0-309-04597-1.