SMIF (واجهة)

📅 آخر تحديث: ٣٠ يوليو ٢٠٢٦
✍️ نُشر في: ٣٠ يوليو ٢٠٢٦
📷 يحتوي على 1 صور
الموسوعة الحرة
وحدة SMIF للرقاقات مقاس 6 بوصات

SMIF ( الواجهة الميكانيكية القياسية ) عبارة عن حامل رقائق يُستخدم في تصنيع رقائق أشباه الموصلات وفي بيئات الغرف النظيفة . طُوّرت تقنية العزل هذه في ثمانينيات القرن الماضي على يد مجموعة تُعرف باسم "رواد الميكرو" في شركة هيوليت-باكارد في بالو ألتو . وهي معيار من معايير SEMI . [ 1 ]

يستخدم

تهدف وحدات SMIF إلى عزل الرقاقات عن التلوث من خلال توفير بيئة مصغرة ذات تدفق هواء وضغط وعدد جسيمات مضبوطة. ويمكن الوصول إلى وحدات SMIF عبر واجهات ميكانيكية آلية على معدات الإنتاج. وبذلك، تبقى الرقاقات في بيئة مضبوطة بدقة، سواء داخل وحدة SMIF أو في أداة التصنيع، دون أن تتعرض لتدفق الهواء المحيط.

تحتوي كل وحدة SMIF على علبة رقائق يتم فيها تخزين الرقائق بشكل أفقي. السطح السفلي للوحدة هو الباب الذي يُفتح، وعند وضع وحدة SMIF على منفذ التحميل ، يتم إنزال الباب السفلي والعلبة داخل الجهاز لإخراج الرقائق.

يمكن التعامل مع كل من الرقاقات والشبكات الضوئية بواسطة وحدات SMIF في بيئة تصنيع أشباه الموصلات. تُستخدم الشبكات الضوئية أو الأقنعة الضوئية في أدوات الطباعة الحجرية ، وتحتوي على الصورة التي تُعرَّض على رقاقة مطلية في خطوة معالجة واحدة من دورة تصنيع أشباه الموصلات المتكاملة. ولأن الشبكات الضوئية مرتبطة ارتباطًا وثيقًا بمعالجة الرقاقات، فإنها تتطلب أيضًا خطوات لحمايتها من التلوث أو من كونها مصدرًا للتلوث في أداة الطباعة الحجرية.

تُستخدم تقنية SMIF عادةً للرقاقات التي لا يزيد حجمها عن 200 مم. أما الرقاقات ذات الفتحة الأمامية الموحدة (FOUP) فهي المكافئ لها . ونظرًا لمرونة الرقاقات ذات حجم 300 مم، لم يعد من الممكن استخدام تقنية SMIF وتصاميمها لهذا الحجم، مما أدى إلى ظهور تقنية FOUP. وترتبط العديد من معايير FOUP الصادرة عن SEMI، بما في ذلك SEMI E47.1-1106، [ 2 ] برقاقات 300 و450 مم. 

تطوير

قاد أولريش كامبف فريق التطوير الأساسي بصفته مديرًا هندسيًا، تحت إشراف ميهير باريك. أما الفريق الأساسي الذي طور التقنية، فكان بقيادة باركلي توليس، صاحب معظم براءات الاختراع، إلى جانب ديف ثراشر، الذي انضم لاحقًا إلى مجموعة وادي السيليكون، وتوماس أتشيسون، العضو في الطاقم التقني تحت إشراف باركلي توليس. قدّم ميهير التقنية لاحقًا إلى شركة SEMI، ثم حصل على ترخيص لاستخدام نسخة منها، وأسس شركة Asyst Technologies لتوفيرها تجاريًا. استحوذت شركة Brooks Automation لاحقًا على تقنية Asyst في جهاز Versaport الخاص بها. وظلت واجهة المستخدم كما هي بعد الاستحواذ.

انظر أيضاً

مراجع