إيثيلين ديامين بيروكاتيكول

إيثيلين ديامين بيروكاتيكول ( EDP )، المعروف أيضًا باسم إيثيلين ديامين-بيروكاتيكول-ماء ( EPW )، هو محلول حفر غير متجانس للسيليكون . ^{[ 1 ]} تتكون تركيبته النموذجية من إيثيلين ديامين ، وبيروكاتيكول ، وبيرازين، وماء. وهو مادة مسرطنة وشديدة التآكل. ^{[ 1 ]} يُستخدم بشكل رئيسي في مختبرات الأبحاث، ولا يُستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الشائعة. ^{[ 1 ]}