ماء فائق النقاء
الماء فائق النقاء ( UPW )، أو الماء عالي النقاء ، أو الماء عالي التنقية ( HPW )، هو ماء تم تنقيته وفقًا لمواصفات دقيقة للغاية. [ 1 ] يُستخدم مصطلح "الماء فائق النقاء" بشكل شائع في الصناعات التحويلية للتأكيد على أن الماء يُعالج إلى أعلى مستويات النقاء لإزالة جميع أنواع الملوثات، بما في ذلك المركبات العضوية وغير العضوية ، والمواد الذائبة والجسيمية، والغازات الذائبة ، بالإضافة إلى المركبات المتطايرة وغير المتطايرة ، والمركبات النشطة والخاملة، والمركبات المحبة للماء والمركبات الكارهة للماء . وعلى عكس الماء منزوع الأيونات (DI) ، تتم إزالة الجزيئات العضوية والغازات الذائبة من الماء فائق النقاء بالإضافة إلى الأيونات.
تُحضّر المياه فائقة النقاء عادةً في ثلاث مراحل رئيسية: المعالجة الأولية، والمعالجة الأساسية، والتنقية/النقل. [ 1 ] [ 2 ] [ 3 ] وبينما تستخدم العديد من الصناعات مصطلح "المياه فائقة النقاء"، فإن التعريفات الدقيقة تختلف بينها. وتُحدد معايير المياه فائقة النقاء من قِبل جهات مختلفة في قطاعات الطاقة، وأشباه الموصلات، [ 4 ] والصناعات الدوائية. [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ] وتُعدّ متطلبات نقاء المياه في صناعة أشباه الموصلات الأكثر صرامةً عمومًا لمنع حدوث أعطال في الدوائر على مستوى النانومتر.
معايير المياه فائقة النقاء
تُطوّر وتنشر العديد من المنظمات والهيئات معاييرَ مُرتبطةً بإنتاج المياه فائقة النقاء. ففي مجال الإلكترونيات الدقيقة والطاقة، تشمل هذه المنظمات: الرابطة الدولية لمعدات ومواد أشباه الموصلات ( SEMI ) (الإلكترونيات الدقيقة والخلايا الكهروضوئية )، والجمعية الأمريكية الدولية لاختبار المواد (ASTM International) (أشباه الموصلات والطاقة)، ومعهد أبحاث الطاقة الكهربائية (EPRI) (الطاقة)، والجمعية الأمريكية للمهندسين الميكانيكيين (ASME) (الطاقة)، والرابطة الدولية لخصائص الماء والبخار (IAPWS) (الطاقة). أما مصانع الأدوية، فتلتزم بمعايير جودة المياه التي وضعتها دساتير الأدوية ، ومنها على سبيل المثال دستور الأدوية الأمريكي ، ودستور الأدوية الأوروبي ، ودستور الأدوية الياباني .
عملية التنقية
يُستمد الماء عادةً من شبكة مياه المدينة أو مصادر محلية أخرى، ويخضع لسلسلة من مراحل التنقية لينتج عنه ماء فائق النقاء (UPW). تقوم بعض الأنظمة بإعادة تدوير هذا الماء المُستخدم إلى نظام الترشيح الخاص بها، نظرًا لكونه غالبًا أنقى من مصادره الأصلية. تُصنف مراحل التنقية عمومًا إلى المعالجة الأولية، والمعالجة الأساسية، والتنقية النهائية، والتوزيع. [ 3 ] هذه التصنيفات ليست صارمة، وقد تتواجد بعض تقنيات التنقية في مرحلة واحدة أو أكثر من المراحل الرئيسية، وذلك تبعًا للاحتياجات الهندسية المحددة أو تصنيف المؤلف.
المعالجة المسبقة
تُنتج المعالجة الأولية "ماءً نقيًا" وتركز على إزالة الملوثات بطرق غير مكلفة قبل التناضح العكسي أو التبادل الأيوني خلال المعالجة الأولية. [ 3 ] يُستخدم التخثير ( التلبيد ) والترسيب مع الترشيح لإزالة المواد الجسيمية التي قد تسد مرشحات التناضح العكسي أو طبقات راتنج التبادل الأيوني. يمكن استخدام تليين الماء بالترسيب لمصادر المياه ذات التركيزات العالية نسبيًا من الأملاح الذائبة لمنع الترسبات خلال الخطوات اللاحقة. [ 3 ] يُعد استخدام التخثير والتلبيد والترسيب شائعًا في أنظمة معالجة المياه البلدية ، مما يعني أن المعالجة الأولية قد لا تكون ضرورية حسب الموقع. بالنسبة لتطبيقات الإلكترونيات (أشباه الموصلات)، تُستخدم أملاح الألومنيوم مع مُليّنات المياه القائمة على الجير لإزالة السيليكا خلال المعالجة الأولية. [ 3 ] يمكن إزالة أيونات المعادن الانتقالية مثل الحديد والمنغنيز من خلال الأكسدة متبوعة بطرق الترسيب/التلبيد. [ 3 ]
بعد المعالجات الكيميائية الأساسية، قد تشمل المعالجة المسبقة الترشيح الدقيق أو الترشيح الفائق لإزالة المواد الصلبة. تُستخدم راتنجات التبادل الأيوني عادةً في خطوة المعالجة المسبقة لتقليل كمية الأيونات المُسببة للترسبات، مثل الكالسيوم، قبل معالجة التناضح العكسي، حيث يمكن أن تتسبب الترسبات بسهولة في انسداد أغشية التناضح العكسي. [ 1 ] [ 3 ]
العلاج الأولي
تهدف المعالجة الأولية إلى إزالة الأيونات والغازات الذائبة والملوثات العضوية من المياه المعالجة مسبقًا. في القرن الحادي والعشرين، غالبًا ما تُستخدم تقنية التناضح العكسي متعدد المراحل كطريقة أساسية في هذه المرحلة لإزالة الأيونات الذائبة والمواد العضوية الصلبة الذائبة. [ 8 ] وباعتبارها طريقة ترشيح غشائية، فإنها تزيل أيضًا المواد الصلبة العالقة. [ 1 ] يُستخدم التناضح العكسي في هذه المرحلة لإزالة كل من الأيونات الذائبة والمواد العضوية الذائبة. [ 1 ]
تُزال الغازات المذابة، بما في ذلك الأكسجين والمركبات العضوية المتطايرة، خلال المعالجة الأولية عن طريق إزالة الغازات بالتفريغ أو إزالة الغازات بالأغشية. [ 3 ] [ 1 ] كانت أبراج إزالة الغازات بالتفريغ أكثر شيوعًا في الماضي، لكن الأنظمة الأحدث اتجهت نحو استخدام إزالة الغازات بالأغشية. [ 1 ]
يمكن استخدام الأشعة فوق البنفسجية لتعقيم المياه النقية أثناء المعالجة الأولية [ 3 ] على الرغم من أنه يمكن أيضًا ترك المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية حتى مرحلة التلميع. [ 1 ]
تلميع
تُستخدم عملية التلميع في أنظمة المياه فائقة النقاء لتقليل مستوى الملوثات المنخفض أصلاً بعد المعالجة الأولية. ويُستخدم ضوء الأشعة فوق البنفسجية في هذه المرحلة لتعقيم المياه. [ 1 ] [ 3 ] وتُجرى عملية إزالة الأيونات الإضافية باستخدام أغشية التبادل الأيوني أو إزالة الأيونات الكهربائية. وتُزال الأيونات غير العضوية (بما في ذلك السيليكات) والأيونات العضوية من خلال هذه العمليات. وقد تكون أغشية التبادل الأيوني المستخدمة في خطوات التلميع النهائية غير قابلة للتجديد، على عكس تلك المستخدمة في الخطوات السابقة. [ 1 ] وتُستخدم أغشية الترشيح الفائق ذات مسام بحجم 0.45 ميكرومتر لإزالة الجزيئات الصغيرة، بما في ذلك البكتيريا التي قُتلت بالتعقيم بالأشعة فوق البنفسجية. [ 1 ]
في تطبيقات أشباه الموصلات، تُستخدم عادةً مرشحات إضافية ذات أحجام مسام ≤ 200 نانومتر قبل التوزيع مباشرةً لتقليل تلوث الجسيمات بشكل أكبر. [ 1 ] يجب ترشيح الجسيمات حتى تصل إلى "حجم جسيمات حرج" يساوي نصف أصغر حجم للمكونات على شريحة أشباه الموصلات. على سبيل المثال، يجب إزالة جميع الجسيمات التي يزيد حجمها عن 20 نانومتر (0.02 ميكرومتر) من الشرائح التي تحتوي على مكونات بحجم 40 نانومتر لتجنب التلوث الذي يعيق عمل رقائق الكمبيوتر. [ 1 ]
بعد عملية التلميع، يتم تدوير الماء فائق النقاء بشكل مستمر عبر نظام التلميع لمنع الركود الذي قد يؤدي إلى نمو البكتيريا. [ 1 ] [ 9 ]
مصادر التلوث وإزالته
تتواجد البكتيريا والجسيمات والكربون العضوي والأيونات والغازات المذابة جميعها في أنظمة المياه البلدية النموذجية ويجب إزالتها لإنتاج مياه فائقة النقاء.
الجسيمات والبكتيريا
يمكن أن تتسبب الجسيمات الموجودة في الماء فائق النقاء في حدوث عيوب في أشباه الموصلات، لا سيما في عمليات الطباعة الضوئية التي تُحدد خصائص نانوية. كما يمكن أن تتداخل هذه الجسيمات مع عمليات الحفر وتتسبب في وصل خصائص نانوية في الدوائر النهائية، مما يؤدي إلى أعطال كهربائية. ويمكن التحكم في الجسيمات عن طريق الترشيح للجسيمات الكبيرة والترشيح الفائق للجسيمات النانوية. وتشمل مصادر الجسيمات أجزاءً بكتيرية أو جسيمات من جدران نظام معالجة السوائل.
تُعدّ البكتيريا من أكثر الكائنات الحية صعوبةً في السيطرة عليها، إذ تستطيع بعض أنواعها النمو حتى في البيئات الفقيرة بالمغذيات. [ 10 ] ويمكن السيطرة على البكتيريا عن طريق التعقيم أو الترشيح الفائق (المستخدم في بعض الصناعات الدوائية، ولكن بشكل رئيسي في صناعات أشباه الموصلات). [ 11 ] ويمكن إجراء التعقيم الكيميائي باستخدام الأوزون أو بيروكسيد الهيدروجين .
الأنيونات والكاتيونات
تُعدّ الكاتيونات، بما فيها الصوديوم والبوتاسيوم والكالسيوم والمغنيسيوم، شائعة في مصادر المياه الصناعية. أما الأنيونات الشائعة فتشمل الكلوريد والكبريتات والبيكربونات. تُستخدم عدة طرق لإزالة الأيونات من مصادر المياه الداخلة، منها التناضح العكسي والتقطير والتبادل الأيوني. يُمكن استخدام التقطير لإزالة الكاتيونات المعدنية غير المتطايرة، وقد استُخدم تاريخيًا لتنقية المياه. مع ذلك، يُعدّ التقطير عمليةً مُستهلكةً للطاقة بكثافة مقارنةً بالجمع بين التناضح العكسي والتبادل الأيوني، وهما أكثر شيوعًا في الأنظمة الحديثة.
الكربون العضوي
يُعدّ إزالة الكربون العضوي من الماء أحد الفروقات بين الماء منزوع الأيونات والماء فائق النقاء. تشمل مصادر الكربون العضوي البكتيريا، وتسربه من الأنابيب البلاستيكية، ومصادره الجوية الذائبة. ويمكن إزالة الكربون العضوي باستخدام الترشيح بالكربون المنشط وأكسدة الكربون العضوي إلى ثاني أكسيد الكربون/بيكربونات.
الغازات المذابة
يمكن أن يؤدي الأكسجين المذاب في الماء إلى أكسدة غير مرغوب فيها لرقائق السيليكون ومواد أخرى، بينما تؤدي غازات مثل ثاني أكسيد الكربون إلى زيادة حموضة الماء، ويجب إزالتها. ويمكن إزالة الغازات عبر طرق مختلفة، منها إزالة الغازات بالحرارة أو الضغط، أو باستخدام أجهزة إزالة الغازات الغشائية، أو إزالة الغازات كيميائياً. [ 12 ]
السيليكا
تتسرب السيليكا بشكل طبيعي من الجدران الزجاجية وتدخل مصادر المياه. ويمكن إزالة السيليكا الذائبة، على شكل أنيون السيليكات، عن طريق التناضح العكسي أو التبادل الأيوني. أما السيليكا الصلبة الغروية ، فيمكن إزالتها عن طريق الترشيح الفائق مع أو بدون تخثير لزيادة حجم الجسيمات. [ 13 ]
التطبيقات
الصناعات الرئيسية التي تستخدم المياه فائقة النقاء هي:
- عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات
- الخلايا الكهروضوئية الشمسية
- المستحضرات الصيدلانية
- توليد الطاقة (الغلايات دون الحرجة وفوق الحرجة)
- تطبيقات متخصصة مثل مختبرات الأبحاث.
تعتمد المعايير على التطبيق. فعلى سبيل المثال، تستخدم مصانع أشباه الموصلات المياه فائقة النقاء كعامل تنظيف ، لذا من المهم ألا تحتوي المياه على ملوثات ذائبة قد تترسب أو جزيئات قد تلتصق بالدوائر الإلكترونية وتسبب أعطالًا في الرقائق الدقيقة. ويستخدم قطاع الطاقة المياه فائقة النقاء لإنتاج البخار لتشغيل التوربينات البخارية؛ كما تستخدمها مصانع الأدوية كعامل تنظيف، بالإضافة إلى كونها مكونًا في منتجاتها، لذا فهي تسعى للحصول على مياه خالية من السموم الداخلية والميكروبات والفيروسات.
تطبيقات في صناعة أشباه الموصلات
يُستخدم الماء فائق النقاء على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات حيث تكون أعلى درجة من النقاء مطلوبة.
تتنوع استخدامات الماء فائق النقاء؛ فقد يُستخدم لشطف الرقاقة بعد تطبيق المواد الكيميائية، أو لتخفيف المواد الكيميائية نفسها، أو في أنظمة البصريات الخاصة بالطباعة الضوئية بالغمر ، أو كمُكمِّل لسائل التبريد في بعض التطبيقات الحساسة. بل يُستخدم الماء فائق النقاء أحيانًا كمصدر للترطيب في بيئة الغرف النظيفة . [ 14 ]
يُعدّ استخدام الماء فائق النقاء (UPW) في تنظيف الرقاقات أثناء وبعد عملية الحفر الرطب في مرحلة تصنيع أشباه الموصلات الأمامية (FEOL ) التطبيقَ الأساسي والأكثر أهميةً. [ 15 ] : 118 يجب إزالة الشوائب التي قد تُسبب تلوث المنتج أو تؤثر على كفاءة العملية (مثل معدل الحفر) من الماء أثناء مرحلتي التنظيف والحفر. في عمليات التلميع الكيميائي الميكانيكي ، يُستخدم الماء بالإضافة إلى الكواشف وجزيئات الكشط. اعتبارًا من عام 2002، اعتُبرت نسبة 1-2 جزء من الجزيئات الملوثة لكل مليون جزء من الماء ماءً فائق النقاء (مثل الماء المستخدم في صناعة أشباه الموصلات). [ 15 ] : 118
| معايير جودة المياه المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات | |
|---|---|
| معلمات الاختبار | أشباه الموصلات المتقدمة UPW [ 4 ] [ 16 ] |
| المقاومة النوعية (25 درجة مئوية) | >18.18 ميجا أوم·سم |
| إجمالي الكربون العضوي (متوفر عبر الإنترنت لأقل من 10 جزء في المليار) | <1 ميكروغرام/لتر |
| الأكسجين المذاب عبر الإنترنت | 10 ميكروغرام/لتر |
| الجسيمات المتصلة بالإنترنت (>0.05 ميكرومتر) | أقل من 200 جسيم/لتر |
| المخلفات غير المتطايرة | 100 نانوغرام/لتر |
| السيليكا (الإجمالية والمذابة) | 50 نانوغرام/لتر |
| المعادن/البورون (باستخدام مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا ) | |
| 22 عنصرًا من أكثر العناصر شيوعًا (انظر F63-0213 [ 16 ] لمزيد من التفاصيل) | <1–10 نانوغرام/لتر |
| الأيونات (بواسطة IC ) | |
| 7 أنيونات رئيسية والأمونيوم (انظر F63-0213 [ 16 ] لمزيد من التفاصيل) | 50 نانوغرام/لتر |
| الميكروبيولوجيا | |
| البكتيريا | أقل من 1 وحدة تشكيل مستعمرة / 100 مل |
يُستخدم هذا المنتج في أنواع أخرى من تصنيع الإلكترونيات بطريقة مماثلة، مثل شاشات العرض المسطحة ، والمكونات المنفصلة (مثل مصابيح LED )، وأقراص محركات الأقراص الصلبة (HDD)، ومحركات الأقراص الصلبة ذات ذاكرة NAND الفلاشية (SSD)، ومستشعرات الصور ومعالجات الصور/البصريات على مستوى الرقاقة (WLO)، والخلايا الكهروضوئية المصنوعة من السيليكون البلوري ؛ ومع ذلك، فإن متطلبات النظافة في صناعة أشباه الموصلات هي الأكثر صرامة حاليًا. [ 17 ]
المياه المُستصلحة كمادة خام
مع توسع نطاق تصنيع أشباه الموصلات، ازداد حجم المياه اللازمة لإنتاج المياه فائقة النقاء بشكل كبير، حيث تستهلك مصانع التصنيع المتقدمة ملايين الجالونات من هذه المياه يوميًا. [ 18 ] وللحد من الاعتماد على سحب المياه العذبة، بدأ بعض المصنّعين باستخدام مياه الصرف الصحي البلدية أو الصناعية المُعالجة كمادة خام لإنتاج المياه فائقة النقاء. [ 19 ] تحتوي المياه المُعالجة عادةً على مستويات أعلى من الملوثات العضوية ذات الجزيئات الصغيرة، مثل اليوريا، والتي لا تُزال بفعالية باستخدام طرق التبادل الأيوني التقليدية ، أو التناضح العكسي ، أو المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية . ونتيجةً لذلك، تمّت دراسة عمليات الأكسدة المتقدمة ، بما في ذلك عمليات الأكسدة المتقدمة بالأشعة فوق البنفسجية والطرق القائمة على جذور الكبريتات، كعمليات تكميلية لتلبية المواصفات المتزايدة الصرامة للكربون العضوي الكلي المطلوبة لتصنيع الأجهزة ذات الأبعاد الأقل من 7 نانومتر. [ 19 ] [ 20 ]
تطبيقات في صناعة الأدوية
يلخص الجدول أدناه الاستخدام النموذجي للمياه فائقة النقاء في الصناعات الدوائية والتقنية الحيوية: [ 21 ]
استخدامات المياه فائقة النقاء في الصناعات الدوائية والتقنية الحيوية
| يكتب | يستخدم |
|---|---|
| ماء معقم للحقن | مخفف للحقن العينية والحقن متعددة الجرعات |
| ماء معقم للاستنشاق | مخفف لمنتجات العلاج بالاستنشاق |
| ماء معقم للحقن | مذيب للحقن |
| ماء معقم للري | مخفف لمنتجات العلاج بالري الداخلي |
| ماء للحقن بكميات كبيرة | الماء المستخدم في تحضير كميات كبيرة من الأدوية المخصصة للإعطاء عن طريق الحقن |
لكي يُستخدم في التطبيقات الصيدلانية والتقنية الحيوية لإنتاج منتجات الرعاية الصحية البشرية والبيطرية المرخصة، يجب أن يتوافق مع مواصفات الدراسات الدوائية التالية:
- دستور الأدوية البريطاني (BP): [ 5 ] ماء نقي
- دستور الأدوية الياباني (JP): [ 22 ] ماء نقي
- دستور الأدوية الأوروبي (Ph Eur): [ 6 ] أكوا بوريفيكاتا
- دستور الأدوية الأمريكي (USP): [ 7 ] ماء نقي
ملاحظة: عادةً ما يكون كتاب "الماء النقي" دراسة رئيسية تشير إلى تطبيقات أخرى تستخدم الماء فائق النقاء
يُستخدم الماء فائق النقاء غالبًا كعنصر أساسي في تطبيقات التنظيف (حسب الحاجة). كما يُستخدم أيضًا لتوليد بخار نظيف لأغراض التعقيم.
يلخص الجدول التالي مواصفات اثنين من دستور الأدوية الرئيسيين لـ "الماء المخصص للحقن":
مواصفات دستور الأدوية لمياه الحقن
| ملكيات | دستور الأدوية الأوروبي (Ph. Eur.) [ 23 ] | دستور الأدوية الأمريكي (USP) [ 24 ] |
|---|---|---|
| الموصلية [ أ ] (25 درجة مئوية) | <1.3 ميكروسيمنز/سم | <1.3 ميكروسيمنز/سم |
| إجمالي الكربون العضوي (TOC) | <0.5 ملغم/لتر | <0.5 ملغم/لتر |
| البكتيريا (إرشادات) | أقل من 10 وحدة تشكيل مستعمرة / 100 مل | أقل من 10 وحدة تشكيل مستعمرة / 100 مل |
| السموم الداخلية | <0.25 وحدة دولية/مل | <0.25 وحدة دولية/مل [ ب ] |
| النترات | أقل من 0.2 جزء في المليون | غير متوفر |
| الألومنيوم | أقل من 10 جزء في المليار | غير متوفر |
طرق تحليل المياه فائقة النقاء
القياسات التحليلية عبر الإنترنت
الموصلية/المقاومة
في أنظمة المياه فائقة النقاء، تُستخدم الموصلية الكهربائية أو المقاومة الكهربائية، وهما مقلوبان لبعضهما البعض، كمؤشر عام لنقاء الماء. يتميز الماء النقي تمامًا بموصلية كهربائية تبلغ 0.05501 ميكروسيمنز/سم ومقاومة كهربائية تبلغ 18.18 ميجا أوم.سم عند 25 درجة مئوية، وعادةً ما يُحدد الماء فائق النقاء ليقترب من هذه القيمة أو يحققها. [ 2 ] تتأثر المقاومة الكهربائية بشدة بالتلوث بالأيونات، حيث يؤدي وجود 0.1 جزء في البليون من كلوريد الصوديوم إلى خفض المقاومة الكهربائية إلى 18.11 ميجا أوم.سم (ما يعادل 0.05523 ميكروسيمنز/سم). [ 25 ] [ 26 ]
يتلوث الماء فائق النقاء بسهولة بآثار ثاني أكسيد الكربون من الغلاف الجوي، والتي تتسرب عبر ثقوب صغيرة أو تنتشر عبر أنابيب البوليمر ذات الجدران الرقيقة عند استخدام أنابيب أخذ العينات للقياس. يشكل ثاني أكسيد الكربون حمض الكربونيك الموصل في الماء، والذي يتفكك إلى أيونات الهيدروجين (H +) والبيكربونات. لهذا السبب، تُستخدم مجسات التوصيل الكهربائي غالبًا لتوفير مراقبة مستمرة للتوصيل/المقاومة الكهربائية لضمان نقاء الماء.
الصوديوم
عادةً ما يكون الصوديوم أول أيون يخترق مبادل الكاتيونات المستنفد. يُمكن قياس الصوديوم للكشف السريع عن هذه الحالة، ويُستخدم على نطاق واسع كمؤشر لتجديد مبادل الكاتيونات. تكون موصلية سائل مبادل الكاتيونات الخارج عالية دائمًا نظرًا لوجود الأنيونات وأيونات الهيدروجين، ولذلك فإن قياس الموصلية غير مُجدٍ لهذا الغرض. يستخدم قياس الصوديوم المباشر في الماء فائق النقاء عادةً قطبًا كهربائيًا انتقائيًا لأيونات الصوديوم ذو غشاء زجاجي وقطبًا مرجعيًا في محلل يقيس عينة صغيرة متدفقة باستمرار من تيار جانبي. [ 27 ]
الأكسجين المذاب
تتطلب عمليات تصنيع الإلكترونيات الدقيقة المتقدمة أن تكون تركيزات الأكسجين المذاب أقل من 10 ميكروغرام/لتر في مياه الشطف فائقة النقاء لمنع أكسدة أغشية وطبقات الرقائق. [ 2 ] يجب التحكم في تركيز الأكسجين المذاب في مياه وبخار محطات توليد الطاقة عند مستويات أجزاء في المليار لتقليل التآكل.
يُقاس الأكسجين المذاب بتقنيتين أساسيتين: الخلية الكهروكيميائية أو التألق الضوئي. يستخدم القياس الكهروكيميائي التقليدي مستشعرًا مزودًا بغشاء نفاذ للغاز. [ 28 ] خلف الغشاء، تولد الأقطاب الكهربائية المغمورة في محلول إلكتروليتي تيارًا كهربائيًا يتناسب طرديًا مع الضغط الجزئي للأكسجين في العينة.
تستخدم مستشعرات الأكسجين المذاب الفلورية الضوئية مصدر ضوء، ومادة فلورية، وكاشفًا ضوئيًا. تُغمر المادة الفلورية في العينة، ويُسلط الضوء عليها فتمتص الطاقة ثم تعيد إصدار الضوء بطول موجي أطول . يرتبط زمن وكثافة الضوء المُعاد إصداره بالضغط الجزئي للأكسجين المذاب وفقًا لعلاقة ستيرن-فولمر . تُعوض الإشارة حراريًا لمراعاة ذوبانية الأكسجين في الماء وخصائص المادة الفلورية للحصول على قيمة تركيز الأكسجين المذاب. [ 29 ]
السيليكا
السيليكا مادة ملوثة ضارة بتصنيع الإلكترونيات الدقيقة، ويجب الحفاظ على مستوياتها عند أقل من جزء في المليار. [ 2 ] في توليد الطاقة البخارية، يمكن أن تُشكّل السيليكا رواسب على أسطح التبادل الحراري، مما يُقلل من الكفاءة الحرارية . في الغلايات ذات درجات الحرارة العالية، تتبخر السيليكا وتنتقل مع البخار، حيث يمكن أن تُشكّل رواسب على شفرات التوربينات، مما يُقلل من الكفاءة الديناميكية الهوائية. يمكن قياس إجمالي السيليكا باستخدام مطيافية الانبعاث الذري أو مطيافية الكتلة، بينما يمكن الكشف عن السيليكا الذائبة باستخدام الطرق اللونية. في الطريقة اللونية، تُضاف كواشف، بما في ذلك الموليبدات، إلى المحلول، مما يُكوّن مُركّبًا أزرق اللون من السيليكو-موليبدات، والذي يمكن الكشف عنه باستخدام مطيافية الأشعة فوق البنفسجية والمرئية. [ 30 ]
الجسيمات
لطالما شكلت الجسيمات الموجودة في الماء فائق النقاء مشكلة رئيسية في صناعة أشباه الموصلات، إذ يمكن لأي جسيم يسقط على رقاقة السيليكون أن يسد الفجوة بين المسارات الكهربائية في دوائر أشباه الموصلات. ويمكن رصد عدد الجسيمات في الماء فائق النقاء باستخدام أنظمة عد الجسيمات القائمة على الليزر، أو باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح لأغراض التشخيص. [ 2 ]
بقايا غير متطايرة
يُعدّ التلوث بالمواد غير العضوية الذائبة، وخاصة السيليكا، نوعًا آخر من أنواع التلوث في المياه فائقة النقاء. ويمكن لأي مادة غير عضوية ذائبة أن تبقى على الرقاقة أثناء جفاف المياه فائقة النقاء. ويمكن الكشف عن المواد غير المتطايرة باستخدام جهاز رذاذ لتكوين قطرات صغيرة من سائل معلق في تيار من الغاز. تُجفف هذه القطرات لتُشكّل رذاذًا من جزيئات البقايا غير المتطايرة التي يمكن عدّها باستخدام تقنيات تشتت الضوء. [ 31 ]
جدول المحتويات
يُقاس إجمالي الكربون العضوي عن طريق أكسدة الجزيئات العضوية في الماء إلى ثاني أكسيد الكربون ، ثم قياس الزيادة في تركيز ثاني أكسيد الكربون في الماء بعد الأكسدة. ويُستخدم هذا التغير في ثاني أكسيد الكربون، أو ما يُعرف بـ "دلتا ثاني أكسيد الكربون" ، لتحديد تركيز الكربون العضوي.
طرق الأكسدة العضوية لتحليل الكربون العضوي الكلي
تتم أكسدة المواد العضوية إلى ثاني أكسيد الكربون في أغلب الأحيان في المحاليل السائلة عن طريق تكوين جذر الهيدروكسيل (OH•)، وهو نوع كيميائي مؤكسد للغاية. أما في بيئة الاحتراق، فتتضمن أكسدة المواد العضوية تكوين أنواع أخرى من الأكسجين الجزيئي النشط. وللحصول على مستويات الكربون العضوي الكلي (TOC) النموذجية في أنظمة معالجة المياه فائقة النقاء، تستخدم معظم الطرق جذور الهيدروكسيل في الطور السائل.
توجد طرق متعددة لإنتاج تركيزات كافية من جذور الهيدروكسيل اللازمة لأكسدة المواد العضوية في الماء إلى ثاني أكسيد الكربون بشكل كامل ، وتُناسب كل طريقة منها مستويات نقاء مختلفة للمياه. بالنسبة للمياه الخام النموذجية التي تغذي المرحلة الأولى من نظام تنقية المياه فائقة النقاء، قد تحتوي على مستويات كربون عضوي كلي تتراوح بين 0.7 و15 ملغم/لتر، مما يستدعي استخدام طريقة أكسدة فعّالة تضمن توفر كمية كافية من الأكسجين لتحويل جميع ذرات الكربون في الجزيئات العضوية إلى ثاني أكسيد الكربون . تشمل طرق الأكسدة الفعّالة التي توفر كمية كافية من الأكسجين ما يلي: الأشعة فوق البنفسجية وبيرسلفات الصوديوم، وبيرسلفات الصوديوم المُسخّنة، والاحتراق، والأكسدة فوق الحرجة. فيما يلي معادلات نموذجية توضح توليد جذور الهيدروكسيل بواسطة بيرسلفات الصوديوم.
S2 O 2− 8 + hν (254 nm) → 2SO − 4 • و SO − 4 • +H2 O → HSO − 4 + OH •
عندما يكون تركيز المواد العضوية أقل من 1 ملغم/لتر كمجموع الكربون العضوي (TOC) ويكون الماء مشبعًا بالأكسجين، فإن الأشعة فوق البنفسجية كافية لأكسدة المواد العضوية إلى ثاني أكسيد الكربون (CO₂ ) ، وهذه طريقة أكسدة أبسط. يجب أن يكون طول موجة الأشعة فوق البنفسجية المستخدمة في المياه ذات تركيز الكربون العضوي المنخفض أقل من 200 نانومتر، وعادةً ما يكون 184 نانومتر، ويتم توليده بواسطة مصباح بخار الزئبق منخفض الضغط. تتمتع الأشعة فوق البنفسجية بطول موجة 184 نانومتر بطاقة كافية لكسر جزيء الماء إلى جذور الهيدروكسيل (OH) وجذور الهيدروجين (H). تتفاعل جذور الهيدروجين بسرعة لتكوين الهيدروجين (H₂ ) . المعادلات كالتالي:
H₂O + hν (185 nm) → OH• + H• و H• + H• → H₂
أنواع مختلفة من أجهزة تحليل الكربون العضوي الكلي في المياه فائقة النقاء
الكربون غير العضوي (IC) = ثاني أكسيد الكربون (CO2 )2 +HCO − 3 +CO 2− 3
الكربون الكلي (TC) = الكربون العضوي + الكربون غير العضوي
إجمالي الكربون العضوي (TOC) = TC – IC
H₂O + hν (185 نانومتر) → OH• + H•
S2 O 2− 8 + hν (254 nm) → 2SO − 4 •
SO − 4 • + H2 O → HSO − 4 + OH •
تحليل المختبر خارج الإنترنت
عند اختبار جودة المياه فائقة النقاء، يُراعى موضع الحاجة إلى هذه الجودة وموضع قياسها. تُعرف نقطة التوزيع أو التسليم (POD) بأنها النقطة في النظام التي تلي مباشرةً آخر مرحلة معالجة وقبل حلقة التوزيع، وهي الموقع القياسي لمعظم الاختبارات التحليلية. أما نقطة التوصيل (POC) فهي نقطة أخرى شائعة الاستخدام لقياس جودة المياه فائقة النقاء، وتقع عند مخرج صمام التفرع الفرعي أو الجانبي المستخدم لتزويد الجهاز بهذه المياه.
تُعدّ تحليلات عينات المياه فائقة النقاء إما مكملة للاختبارات الإلكترونية أو بديلة عنها، وذلك بحسب توافر الأجهزة ومستوى مواصفات جودة المياه فائقة النقاء. ويُجرى تحليل العينات عادةً للمعايير التالية: المعادن، والأنيونات، والأمونيوم، والسيليكا (المذابة والإجمالية)، والجسيمات باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح، والكربون العضوي الكلي، ومركبات عضوية محددة. [ 4 ] [ 16 ]
تُجرى تحليلات المعادن عادةً باستخدام مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا (ICP-MS ). يعتمد مستوى الكشف على نوع الجهاز المستخدم وطريقة تحضير العينة ومعالجتها. تسمح أحدث الطرق بالوصول إلى مستويات أقل من جزء في التريليون (< 1 جزء في التريليون)، والتي تُختبر عادةً باستخدام مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا. [ 32 ]
يُجرى تحليل الأنيونات لسبعة من أكثر الأنيونات غير العضوية شيوعًا (الكبريتات، والكلوريد، والفلوريد، والفوسفات، والنتريت، والنترات، والبروميد) باستخدام كروماتوغرافيا الأيونات (IC)، حيث تصل حدود الكشف إلى أجزاء من التريليون. تُستخدم كروماتوغرافيا الأيونات أيضًا لتحليل الأمونيا وأيونات المعادن الأخرى. مع ذلك، تُعدّ مطيافية الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا (ICPMS) الطريقة المُفضّلة للمعادن نظرًا لانخفاض حدود الكشف وقدرتها على الكشف عن المعادن الذائبة وغير الذائبة في المياه فائقة النقاء. كما تُستخدم كروماتوغرافيا الأيونات للكشف عن اليوريا في المياه فائقة النقاء وصولًا إلى مستوى 0.5 جزء في البليون. تُعدّ اليوريا من أكثر الملوثات شيوعًا في المياه فائقة النقاء، وربما أصعبها معالجةً.
يشمل تحليل السيليكا في المياه فائقة النقاء عادةً تحديد السيليكا التفاعلية والسيليكا الكلية. [ 33 ] ونظرًا لتعقيد التركيب الكيميائي للسيليكا، يُحدد شكل السيليكا المقاس بالطريقة الضوئية (اللونية) على أنه سيليكا متفاعلة مع الموليبدات. وتشمل هذه الأشكال من السيليكا المتفاعلة مع الموليبدات السيليكات البسيطة المذابة، والسيليكا الأحادية، وحمض السيليسيك، وجزء غير محدد من السيليكا البوليمرية. يستخدم تحديد السيليكا الكلية في الماء تقنيات مثل مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا عالي الدقة (ICPMS)، والامتصاص الذري في فرن الجرافيت (GFAA)، [ 34 ] والطريقة الضوئية المقترنة بهضم السيليكا. بالنسبة للعديد من المياه الطبيعية، يوفر قياس السيليكا المتفاعلة مع الموليبدات بهذه الطريقة تقريبًا دقيقًا للسيليكا الكلية، وفي الممارسة العملية، غالبًا ما تُستبدل الطريقة اللونية بتقنيات أخرى تستغرق وقتًا أطول. مع ذلك، يصبح تحليل السيليكا الكلية أكثر أهمية في المياه فائقة النقاء، حيث يُتوقع وجود السيليكا الغروية نتيجةً لبلمرة السيليكا في أعمدة التبادل الأيوني. وتُعتبر السيليكا الغروية أكثر أهمية من السيليكا الذائبة في صناعة الإلكترونيات نظرًا لتأثير الجسيمات النانوية في الماء على عملية تصنيع أشباه الموصلات. وتجعل مستويات السيليكا التي تقل عن جزء في المليار (ppb) تحليل السيليكا الكلية والتفاعلية على حد سواء معقدًا، مما يجعل اختبار السيليكا الكلية هو الخيار المفضل في كثير من الأحيان.
على الرغم من أن الجسيمات والكربون العضوي الكلي (TOC) تُقاس عادةً باستخدام طرق مباشرة، إلا أن للتحليل المختبري التكميلي أو البديل أهمية كبيرة. تكمن أهمية التحليل المختبري في جانبين: التكلفة وتحديد الأنواع. غالبًا ما تلجأ محطات معالجة المياه فائقة النقاء الصغيرة، التي لا تستطيع تحمل تكلفة شراء أجهزة مباشرة، إلى الاختبار غير المباشر. يمكن قياس الكربون العضوي الكلي في العينة المأخوذة مباشرةً بتركيز منخفض يصل إلى 5 أجزاء في البليون، باستخدام نفس التقنية المستخدمة في التحليل المباشر (انظر وصف الطريقة المباشرة). يغطي مستوى الكشف هذا معظم احتياجات التطبيقات الإلكترونية الأقل حساسية وجميع التطبيقات الصيدلانية. عندما يكون تحديد أنواع المواد العضوية مطلوبًا لأغراض استكشاف الأخطاء وإصلاحها أو التصميم، يوفر التحليل الكروماتوغرافي السائل مع الكشف عن الكربون العضوي (LC-OCD) تحليلًا فعالًا. تسمح هذه الطريقة بتحديد البوليمرات الحيوية، والمواد الدبالية، والأحماض والمركبات المحايدة ذات الوزن الجزيئي المنخفض، وغيرها، مع تحديد ما يقرب من 100% من التركيب العضوي في المياه فائقة النقاء بمستوى أقل من جزء في البليون من الكربون العضوي الكلي. [ 35 ] [ 36 ]
على غرار تحليل الكربون العضوي الكلي (TOC)، يُعد تحليل الجسيمات باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) بديلاً أقل تكلفةً للقياسات المباشرة المكلفة، ولذلك يُفضّل استخدامه في التطبيقات الأقل حساسية. يوفر تحليل SEM إمكانية عدّ الجسيمات التي يصل حجمها إلى 50 نانومتر، وهو ما يتوافق عمومًا مع قدرات الأجهزة المباشرة. يتضمن الاختبار تركيب خرطوشة مرشح التقاط SEM على منفذ أخذ عينات الماء فائق النقاء (UPW) لأخذ العينات من قرص غشائي بمسامات مساوية أو أصغر من الحجم المستهدف لجسيمات UPW. ثم يُنقل المرشح إلى مجهر SEM حيث يُفحص سطحه للكشف عن الجسيمات وتحديدها. يتمثل العيب الرئيسي لتحليل SEM في طول مدة أخذ العينات، والتي قد تتراوح بين أسبوع وشهر، وذلك تبعًا لحجم المسامات والضغط في نظام UPW. مع ذلك، فإن متانة واستقرار أنظمة ترشيح الجسيمات يسمحان بتطبيق طريقة SEM بنجاح. يوفر تطبيق مطيافية الأشعة السينية المشتتة للطاقة (SEM-EDS) تحليلًا تركيبيًا للجسيمات، مما يجعل SEM مفيدًا أيضًا للأنظمة المزودة بعدادات الجسيمات المتصلة بالإنترنت.
يُجرى تحليل البكتيريا عادةً وفقًا لطريقة ASTM F1094. [ 37 ] تشمل طريقة الاختبار أخذ عينات وتحليل مياه عالية النقاوة من أنظمة تنقية المياه وشبكات نقلها، وذلك عن طريق أخذ العينات مباشرةً من الصنبور وترشيح العينة المجمعة في الكيس. تغطي هذه الطرق كلاً من أخذ عينات من خطوط المياه والتحليل الميكروبيولوجي اللاحق للعينة باستخدام تقنية الاستزراع. تشمل الكائنات الحية الدقيقة المستخلصة من عينات المياه والمُحصاة على المرشحات كلاً من البكتيريا الهوائية واللاهوائية الاختيارية. تُضبط درجة حرارة الحضانة عند 28 ± 2 درجة مئوية، وتكون مدة الحضانة 48 ساعة أو 72 ساعة، إذا سمح الوقت بذلك. يُوصى عادةً بفترات حضانة أطول لمعظم التطبيقات الحساسة. مع ذلك، فإن 48 ساعة كافية عادةً للكشف عن أي خلل في جودة المياه.
ينقل
لا يزال الفولاذ المقاوم للصدأ مادة الأنابيب المفضلة في صناعة الأدوية. ونظرًا لمكوناته المعدنية، أُزيل معظم الفولاذ من أنظمة المياه فائقة النقاء في الإلكترونيات الدقيقة في ثمانينيات القرن الماضي، واستُبدل ببوليمرات عالية الأداء مثل فلوريد البولي فينيليدين (PVDF)، وبيرفلورو ألكوكسي (PFA)، وإيثيلين كلورو تراي فلورو إيثيلين (ECTFE) ، وبولي تترا فلورو إيثيلين (PTFE) في الولايات المتحدة وأوروبا. أما في آسيا، فيُستخدم كلوريد البولي فينيل (PVC)، وكلوريد البولي فينيل المكلور (CPVC)، والبولي بروبيلين (PP) على نطاق واسع، إلى جانب البوليمرات عالية الأداء.
مراجع
ملحوظات
مراجع
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 غوتشالك ، كريستيان؛ ماكلولين، كيفن؛ كرين، جولي؛ بين، كاثرين؛ فالنتي، باتريك (18 فبراير 2013)، "استخدام وإدارة السوائل الكيميائية في الإلكترونيات الدقيقة" ، في لو تيك، يانيك؛ بابتيست، روبرت (محرران)، الكيمياء في الإلكترونيات الدقيقة ( الطبعة الأولى)، وايلي، الصفحات 233-308 ، doi : 10.1002/9781118578070.ch4 ، ISBN 978-1-84821-436-1تم الاطلاع عليه بتاريخ 30 ديسمبر 2025
- 1 2 3 4 5 6 لجنة D19، دليل المياه فائقة النقاء المستخدمة في صناعات الإلكترونيات وأشباه الموصلات ، ASTM International، doi : 10.1520/D5127-13R18 ، تاريخ الاسترجاع : 29-11-2025
{{citation}}: صيانة CS1: الأسماء الرقمية: قائمة المؤلفين ( رابط ) - 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 أومي (2017-11-01). دليل تكنولوجيا التنظيف الفائق: المجلد 1: الماء فائق النقاء ( الطبعة الأولى). روتليدج. الصفحات 75-88 . doi : 10.1201/9780203734827 . ISBN 978-0-203-73482-7.
- 1 2 3 4 "الدليل القياسي للمياه فائقة النقاء المستخدمة في صناعات الإلكترونيات وأشباه الموصلات" . store.astm.org . تاريخ الاسترجاع: 30-12-2025 .
- 1 2 "دستور الأدوية البريطاني (BP)" . مؤرشف من الأصل بتاريخ 2014-09-26.
- 1 2 "دستور الأدوية الأوروبي (Ph Eur)" . مؤرشف من الأصل بتاريخ 2014-10-01 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 2014-09-17 .
- 1 2 "دستور الأدوية الأمريكي (USP)" .
- ↑ لي، هيونكيونغ؛ جين، يونغشون؛ هونغ، سيونغكوان (2016). "التحولات الحديثة في تكنولوجيا المياه فائقة النقاء: الدور المتزايد للتناضح العكسي" . التحلية . 399 : 185-197 . doi : 10.1016/j.desal.2016.09.003 .
- ↑ دي، أفيجيت؛ توماس، غاريث (2003). تحضير الماء المستخدم في الإلكترونيات . ليتلتون، كولورادو: دار نشر تال أوكس. رقم ISBN 0-927188-10-4.
- ↑ ميتلمان إم دبليو وجيسي جي سي، "التلوث البيولوجي لأنظمة المياه الصناعية: نهج لحل المشكلات"، ووتر مايكرو أسوشيتس، 1987
- ↑ ليبمان إس، "استخدام رقم رينولدز كمعيار لتصميم أنظمة المياه عالية النقاء"، المياه فائقة النقاء، أكتوبر 2006
- ↑ "إزالة الغازات من الماء" . شركة فيوليا لتقنيات المياه - أمريكا الشمالية . تم الاطلاع عليه بتاريخ 30 نوفمبر 2025 .
- ↑ شركة جينيسيس ووتر للتكنولوجيا (18 يونيو 2024). "إزالة فعالة للسيليكا في معالجة المياه الصناعية" . شركة جينيسيس ووتر للتكنولوجيا . تاريخ الاسترجاع: 30 نوفمبر 2025 .
- ↑ "التقرير السنوي لخارطة الطريق الدولية لتكنولوجيا أشباه الموصلات، إصدار 2013" . خارطة الطريق الدولية لتكنولوجيا أشباه الموصلات . مؤرشف من الأصل في 21 سبتمبر 2014.
- 1 2 "ملف PDF - تكنولوجيا أشباه الموصلات من الألف إلى الياء - Halbleiter.org" . www.halbleiter.org . تاريخ الاسترجاع: 14 يونيو 2022 .
- 1 2 3 4 SEMI F63 مؤرشف بتاريخ 19-10-2014 في Wayback Machine دليل الماء فائق النقاء المستخدم في معالجة أشباه الموصلات
- ↑ "UltrapureMicro" . مؤرشف من الأصل بتاريخ 16-12-2018 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 12-12-2018 .
- ^ وينتن، IG؛ خير الدين، خير الدين (2016). “تطبيقات التناضح العكسي: الآفاق والتحديات”. تحلية المياه . 391 : 112– 125. دوى : 10.1016/j.desal.2015.12.011 .
- 1 2 لي، يي-لي؛ بان، شو-يوان؛ لين، يينغ-جو؛ وآخرون . (2021). "مراجعة نقدية لتحديات واتجاهات عملية إنتاج المياه فائقة النقاء". مجلة علوم البيئة الشاملة . 793 148657. Bibcode : 2021ScTEn.79348657L . doi : 10.1016/j.scitotenv.2021.148657 . PMID 34174614 .
- ↑ آنغ، وي لون؛ محمد، عبد الوهاب؛ هلال، نضال؛ ليو، تشوي بنغ (2015). "مراجعة حول إمكانية تطبيق عمليات الأغشية المتكاملة/الهجينة في محطات معالجة المياه وتحلية المياه". التحلية . 363 : 2-18 . doi : 10.1016/j.desal.2014.03.008 .
- ↑ "Rowe RC, Sheskey PJ, Owen SC (eds), Pharmaceutical Excipients. Pharmaceutical Press and American Pharmacists Association. Electronic version, (MedicinesComplete Browser version 3.0.2624.26119)" . الإصدار الحالي من الكتاب .
- ↑ "دستور الأدوية الياباني (JP)" . مؤرشف من الأصل في 11 سبتمبر 2014.
- ↑ "ماء للحقن". دستور الأدوية الأوروبي ( الطبعة الثامنة). ستراسبورغ، فرنسا: مجلس أوروبا. 2013. الصفحات 3555-3558 . ISBN 978-92-871-7531-1.
- ↑ "دراسات دستور الأدوية الأمريكي: الماء للحقن". دستور الأدوية الأمريكي والصيغة الوطنية (USP-NF) (الطبعة 38-33 ). روكفيل، ماريلاند، الولايات المتحدة الأمريكية: هيئة دستور الأدوية الأمريكي. أكتوبر 2014. ص 5805.
- ↑ طرق الاختبار القياسية ASTM D1125 للتوصيل الكهربائي ومقاومة الماء
- ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D5391 للتوصيل الكهربائي والمقاومة الكهربائية لعينة مياه عالية النقاء متدفقة
- ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D2791 لتحديد الصوديوم في الماء عبر الإنترنت
- ↑ لجنة D19، طريقة اختبار القياس المباشر للأكسجين المذاب منخفض المستوى في الماء ، ASTM International، doi : 10.1520/D5462-21 ، تاريخ الاسترجاع : 29-11-2025
{{citation}}: صيانة CS1: الأسماء الرقمية: قائمة المؤلفين ( رابط ) - ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D5462 للقياس المباشر للأكسجين المذاب منخفض المستوى في الماء
- ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D7126 للقياس اللوني المباشر للسيليكا
- ↑ ASTM D5544 الطريقة القياسية للقياس المباشر للبقايا بعد تبخر الماء عالي النقاء.
- ↑ لي، ألبرت؛ يانغ، فنسنت؛ هسو، جونز؛ وو، إيفا؛ شيه، رونان. "قياس آثار الكالسيوم في الماء فائق النقاء باستخدام مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة حثيًا ثلاثي الأقطاب Agilent 8800". شركة Agilent Technologies.
{{cite web}}: مفقود أو فارغ|url=( مساعدة ) - ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D4517 لقياس نسبة السيليكا الكلية المنخفضة في الماء عالي النقاء باستخدام مطيافية الامتصاص الذري بدون لهب
- ↑ طريقة الاختبار القياسية ASTM D859 للسيليكا في الماء
- ↑ هوبر إس إيه، بالز إيه، أبرت إم، وبرونك دبليو (2011) توصيف المواد الدبالية وغير الدبالية المائية باستخدام كروماتوغرافيا الاستبعاد الحجمي - الكشف عن الكربون العضوي - الكشف عن النيتروجين العضوي (LC-OCD-OND). أبحاث المياه 4 5 (2011) 879-885.
- ↑ هوبر، ستيفان؛ ليبمان، سلافا (مايو-يونيو 2014). "الجزء الأول: نظرة عامة على تقنية LC-OCD: تحديد الأنواع العضوية في خدمة المهام التحليلية الحرجة لصناعة أشباه الموصلات". مجلة المياه فائقة النقاء . 31 (3): 10-16 .
- ↑ طرق الاختبار القياسية ASTM F1094 للمراقبة الميكروبيولوجية للمياه المستخدمة في معالجة الأجهزة الإلكترونية والميكروإلكترونية بواسطة صمام أخذ العينات بالضغط المباشر وبطريقة الكيس البلاستيكي المعقم مسبقًا
- ماء
- معالجة المياه
- ماء سائل
- تصنيع أجهزة أشباه الموصلات