المجهر الإلكتروني

📅 آخر تحديث: ٣ أغسطس ٢٠٢٦
✍️ نُشر في: ٣ أغسطس ٢٠٢٦
📷 يحتوي على 15 صور
الموسوعة الحرة

مجهر إلكتروني ناقل حديث (TITAN)

المجهر الإلكتروني هو مجهر يستخدم حزمة من الإلكترونات كمصدر للإضاءة. ويستخدم بصريات إلكترونية مماثلة للعدسات الزجاجية في المجهر الضوئي للتحكم في حزمة الإلكترونات، مثلاً لتركيزها لإنتاج صور مكبرة أو أنماط حيود الإلكترونات . ولأن طول موجة الإلكترون قد يكون أصغر بأكثر من 100,000 مرة من طول موجة الضوء المرئي، فإن للمجاهر الإلكترونية دقة أعلى بكثير تبلغ حوالي 0.1  نانومتر، مقارنةً بحوالي 200  نانومتر للمجاهر الضوئية . [ 1 ] قد يشير مصطلح المجهر الإلكتروني إلى:

يمكنكم الاطلاع على المزيد من التفاصيل في الروابط أعلاه.

تحتوي هذه المقالة على بعض المعلومات العامة حول أنواع مختلفة من هذه الأدوات ، وخاصة حول مجاهر النقل والمجاهر الإلكترونية الماسحة مع القليل من المعلومات حول الأنواع الأخرى وأقسام موجزة تحتوي على روابط لمقالات أطول حول بعض طرق استخدام هذه الأدوات، وكيفية صنع العينات وبعض القيود .

تاريخ

مهدت العديد من التطورات الطريق لعلم البصريات الإلكترونية المستخدم في المجاهر. [ 2 ] ومن أهم هذه التطورات عمل هيرتز عام 1883 [ 3 ] ، حيث صنع أنبوب أشعة كاثودية مع انحراف كهرساكن ومغناطيسي، مُظهرًا إمكانية التحكم في اتجاه حزمة الإلكترونات. ومن التطورات الأخرى تركيز الإلكترونات بواسطة مجال مغناطيسي محوري على يد إميل فيشرت عام 1899، [ 4 ] وتحسين الكاثودات المطلية بالأكسيد التي أنتجت عددًا أكبر من الإلكترونات على يد آرثر وينيلت عام 1905 [ 5 ] ، وتطوير العدسة الكهرومغناطيسية عام 1926 على يد هانز بوش . [ 6 ] ووفقًا لدينيس غابور ، حاول الفيزيائي ليو زيلارد عام 1928 إقناعه ببناء مجهر إلكتروني، كان زيلارد قد سجل براءة اختراع له. [ 7 ]

نسخة طبق الأصل من مجهر إلكتروني مبكر صنعه إرنست روسكا في ثلاثينيات القرن العشرين

لا تزال مسألة مخترع المجهر الإلكتروني النافذ محل جدل حتى يومنا هذا. [ 8 ] [ 9 ] [ 10 ] [ 11 ] في عام 1928، في جامعة شارلوتنبورغ التقنية ( جامعة برلين التقنية حاليًا )، عيّن أدولف ماتياس (أستاذ تكنولوجيا الجهد العالي والتركيبات الكهربائية) ماكس نول لقيادة فريق من الباحثين لتطوير أبحاث حزم الإلكترونات ومذبذبات أشعة الكاثود. ضمّ الفريق عددًا من طلاب الدكتوراه، من بينهم إرنست روسكا . في عام 1931، نجح ماكس نول وإرنست روسكا [ 12 ] [ 13 ] في توليد صور مكبّرة لشبكات موضوعة فوق فتحة الأنود. استخدم الجهاز، الذي يظهر نموذج منه في الشكل، عدستين مغناطيسيتين لتحقيق تكبيرات أعلى، وهو أول مجهر إلكتروني. (توفي ماكس نول عام 1969، لذلك لم يحصل على حصة من جائزة نوبل لعام 1986 لاختراعه المجاهر الإلكترونية.)

يبدو أن عمل راينهولد رودنبرغ في شركة سيمنز-شوكيرت كان مستقلاً عن هذا الجهد . ووفقًا لقانون براءات الاختراع (براءتا الاختراع الأمريكيتان رقم 2058914 [ 14 ] و2070318 [ 15 ] ، اللتان سُجلتا عام 1932)، يُعتبر رودنبرغ مخترع المجهر الإلكتروني، ولكن ليس من الواضح متى امتلك جهازًا عمليًا. وقد ذكر في مقال موجز نُشر عام 1932 [ 16 ] أن شركة سيمنز كانت تعمل على هذا المشروع لسنوات قبل تسجيل براءات الاختراع في عام 1932، مدعيًا أن جهوده كانت موازية لتطوير الجامعة. توفي رودنبرغ عام 1961، ولذا، ومثل ماكس نول، لم يكن مؤهلاً للحصول على جزء من جائزة نوبل عام 1986. [ 17 ]

في العام التالي، 1933، بنى روسكا ونول أول مجهر إلكتروني تجاوزت دقته دقة المجهر الضوئي. [ 18 ] بعد أربع سنوات، في عام 1937، مولت شركة سيمنز عمل إرنست روسكا وبودو فون بوريس ، ووظفت هيلموت روسكا ، شقيق إرنست، لتطوير تطبيقات المجهر، لا سيما مع العينات البيولوجية. [ 18 ] [ 19 ] وفي عام 1937 أيضًا، كان مانفريد فون أردين رائدًا في مجال المجهر الإلكتروني الماسح . [ 20 ] أنتجت سيمنز أول مجهر إلكتروني تجاري في عام 1938. [ 21 ] بُنيت أول مجاهر إلكترونية في أمريكا الشمالية في ثلاثينيات القرن العشرين، في جامعة ولاية واشنطن على يد أندرسون وفيتزسيمونز [ 22 ] وفي جامعة تورنتو على يد إيلي فرانكلين بيرتون وطلابه سيسيل هول وجيمس هيلير وألبرت بريبوس. أنتجت شركة سيمنز مجهرًا إلكترونيًا نافذًا (TEM) في عام 1939. [ 23 ] على الرغم من أن المجاهر الإلكترونية النافذة الحالية قادرة على التكبير بمقدار مليوني مرة، إلا أنها كأدوات علمية تظل متشابهة ولكن مع تحسين البصريات.

في أربعينيات القرن العشرين، طُوِّرت مجاهر إلكترونية عالية الدقة، مما أتاح تكبيرًا ودقةً أكبر. [ 24 ] وبحلول عام 1965، قدّم ألبرت كرو في جامعة شيكاغو المجهر الإلكتروني الماسح النافذ باستخدام مصدر انبعاث حقلي ، [ 25 ] مما مكّن من إنتاج مجاهر ماسحة عالية الدقة. [ 26 ] وبحلول أوائل ثمانينيات القرن العشرين، مكّنت التحسينات في الاستقرار الميكانيكي، بالإضافة إلى استخدام فولتيات تسريع أعلى، من تصوير المواد على المستوى الذري. [ 27 ] [ 28 ] وفي ثمانينيات القرن العشرين، أصبح مدفع الانبعاث الحقلي شائعًا في المجاهر الإلكترونية، مما حسّن جودة الصورة بفضل التماسك الإضافي وانخفاض الانحرافات اللونية. وتميّزت الألفية الجديدة بتقدّم في المجهر الإلكتروني المصحّح للانحرافات، مما سمح بتحسينات كبيرة في دقة ووضوح الصور. [ 29 ] [ 30 ]

أنواع المجاهر الإلكترونية

مبدأ تشغيل المجهر الإلكتروني النافذ

المجهر الإلكتروني النافذ (TEM)

المجهر الإلكتروني النافذ

يستخدم المجهر الإلكتروني النافذ (TEM)، وهو الشكل الأصلي للمجهر الإلكتروني، حزمة إلكترونية عالية الجهد لإضاءة العينة وتكوين صورة لها. تُنتَج هذه الحزمة بواسطة مدفع إلكتروني ، حيث تتراوح طاقة الإلكترونات عادةً بين 20 و400 كيلو إلكترون فولت، وتُركَّز بواسطة عدسات كهرومغناطيسية ، ثم تُمرَّر عبر عينة رقيقة. عند خروجها من العينة، تحمل الحزمة الإلكترونية معلومات حول بنيتها، والتي تُكبَّر بعد ذلك بواسطة عدسات المجهر. يمكن رؤية التباين المكاني لهذه المعلومات (الصورة) عن طريق إسقاط الصورة الإلكترونية المُكبَّرة على كاشف . على سبيل المثال، يمكن للمشغل رؤية الصورة مباشرةً باستخدام شاشة عرض فلورية مطلية بمادة فسفورية أو وميضية مثل كبريتيد الزنك . في أغلب الأحيان، تُوصَّل مادة فسفورية عالية الدقة، عبر نظام بصري عدسي أو دليل ضوئي من الألياف البصرية ، بمستشعر كاميرا رقمية . [ 31 ] [ 32 ] [ 33 ] [ 34 ]

For many years the resolution of TEMs was limited by aberrations of the electron optics, primarily the spherical aberration. In most recent instruments hardware correctors can reduce spherical aberration and other aberrations, improving the resolution in high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) to below 0.5 angstrom (50 picometres),[35] enabling magnifications of more than 50 million times.[36] The ability of HRTEM to determine the positions of atoms within materials is useful for many areas of research and development.[37]

Scanning electron microscope (SEM)

Operating principle of a scanning electron microscope

An SEM produces images by probing the specimen with a focused electron beam that is scanned across the specimen (raster scanning). When the electron beam interacts with the specimen, it loses energy and is scattered in different directions by a variety of mechanisms. These interactions lead to, among other events, emission of low-energy secondary electrons and high-energy backscattered electrons, light emission (cathodoluminescence) or X-ray emission. All of these signals carrying information about the specimen, such as the surface topography and composition. The image displayed when using an SEM shows the variation in the intensity of any of these signals as an image. In these each position in the image corresponding to a position of the beam on the specimen when the signal was generated.[38]:1–15

TESCAN S8000X SEM

SEMs are different from TEMs in that they use electrons with much lower energy, generally below 20 keV,[39] while TEMs generally use electrons with energies in the range of 80-300 keV.[40] Thus, the electron sources and optics of the two microscopes have different designs, and they are normally separate instruments.[41]

Scanning transmission electron microscope (STEM)

A STEM combines features of both a TEM and a SEM by rastering a focused incident probe across a specimen, but now mainly using the electrons which are transmitted through the sample. Many types of imaging are common to both TEM and STEM, but some such as annular dark-field imaging and other analytical techniques are much easier to perform with higher spatial resolutions in a STEM instrument. One drawback is that image data is acquired in serial rather than in parallel fashion.[38]:75–138

Low-voltage electron microscope

تستخدم الأجهزة منخفضة الجهد جهود تسريع أقل بكثير، عادةً ما تكون بضعة كيلو إلكترون فولت (keV) أو أقل. ويمكن استخدامها كأجهزة نقل مع عينات رقيقة جدًا. [ 42 ] وهناك نوع مختلف قليلاً من المجاهر يُسمى مجهر الإلكترونات منخفض الجهد (LEEM) يستخدم الإلكترونات المنعكسة من العينة. [ 43 ] [ 44 ]

مجهر إلكتروني عالي الجهد

المجهر الإلكتروني عالي الجهد هو مجهر يعمل باستخدام طاقات أعلى بكثير للإلكترونات. [ 45 ] استُخدمت هذه الأجهزة بشكل أساسي لتصوير العينات السميكة أو لتطبيقات متخصصة مثل دراسة أضرار الإشعاع. [ 45 ] [ 46 ] هذه الأجهزة أكبر بكثير من المجاهر الإلكترونية النافذة القياسية؛ فعلى سبيل المثال، يحمل مجهر في أوساكا، اليابان، الرقم القياسي لأعلى جهد، حيث يعمل باستخدام إلكترونات بطاقة تصل إلى 3 ميغا إلكترون فولت، وكان ارتفاعه يعادل أربعة طوابق تقريبًا. [ 47 ]

أدوات مصححة الانحراف

مجهر إلكتروني ماسح نافذ مزود بمصحح انحراف كروي من الدرجة الثالثة

المجهر الإلكتروني النافذ المصحح للانحرافات (AC-TEM) هو المصطلح العام للمجاهر الإلكترونية التي تُستخدم فيها مكونات كهروضوئية لتقليل الانحرافات التي تحد من دقة الصور. تاريخيًا، كانت المجاهر الإلكترونية تعاني من انحرافات شديدة، وحتى مطلع القرن الحادي والعشرين تقريبًا، كانت دقتها محدودة، إذ كانت قادرة على تصوير التركيب الذري للمواد إذا كانت الذرات متباعدة بدرجة كافية. [ 48 ] مع مطلع القرن، تم دمج المكونات الكهروضوئية مع التحكم الحاسوبي في العدسات ومحاذاتها، مما أتاح تصحيح الانحرافات. أول عرض توضيحي لتصحيح الانحرافات في وضع TEM كان من قِبل هارالد روز وماكسيميليان هايدر عام 1998 باستخدام مصحح سداسي الأقطاب، وفي وضع STEM من قِبل أوندري كريڤانيك ونيكلاس ديلبي عام 1999 باستخدام مصحح رباعي/ثماني الأقطاب. [ 49 ]

اعتبارًا من عام 2025، أصبح تصحيح الانحرافات الهندسية معيارًا في العديد من المجاهر الإلكترونية التجارية، وتُستخدم على نطاق واسع في مجالات علمية متنوعة. [ 50 ] [ 51 ] كما استُخدمت مصححات مماثلة عند طاقات أقل بكثير لأجهزة LEEM . [ 52 ]

المجهر الإلكتروني الانعكاسي (REM)

في المجهر الإلكتروني الانعكاسي (REM)، كما هو الحال في المجهر الإلكتروني النافذ (TEM)، يسقط شعاع إلكتروني على سطح ما، ولكن بدلاً من استخدام الإلكترونات النافذة (TEM) أو الإلكترونات الثانوية (SEM)، يتم الكشف عن الشعاع المنعكس للإلكترونات المتناثرة مرنًا . عادةً ما تقترن هذه التقنية بتقنيتي حيود الإلكترونات عالية الطاقة الانعكاسي (RHEED) وقياس طيف فقدان الطاقة العالية الانعكاسي (RHELS) . [ 53 ] وهناك نوع آخر هو المجهر الإلكتروني منخفض الطاقة المستقطب مغناطيسيًا ( SPLEEM )، والذي يُستخدم لدراسة البنية المجهرية للمجالات المغناطيسية . [ 54 ]

أوضاع التشغيل الرئيسية

صورة نملة في مجهر إلكتروني ماسح

تتضمن أكثر الطرق شيوعًا للحصول على صور في المجهر الإلكتروني اختيار اتجاهات مختلفة للإلكترونات التي تمر عبر العينة، و/أو إلكترونات ذات طاقات مختلفة. [ 31 ] [ 33 ] وهناك عدد كبير جدًا من الطرق لتحقيق ذلك، مع أن بعضها ليس شائعًا جدًا.

الإلكترونات الثانوية

حجم تفاعل الإلكترون مع المادة وأنواع الإشارات المتولدة في المجهر الإلكتروني الماسح

في المجهر الإلكتروني الماسح، تنتج الإشارات عن تفاعلات حزمة الإلكترونات مع الذرات داخل العينة. والطريقة الأكثر شيوعًا هي استخدام الإلكترونات الثانوية لإنتاج الصور. تتميز الإلكترونات الثانوية بطاقات منخفضة جدًا، في حدود 50 إلكترون فولت ، مما يحد من متوسط ​​مسارها الحر في المادة الصلبة إلى بضعة نانومترات أسفل سطح العينة. [ 55 ] يتم الكشف عن الإلكترونات بواسطة كاشف إيفرهارت-ثورنلي ، [ 56 ] وهو نوع من أنظمة جامع- مُومض - مضاعف ضوئي . تميل إشارة الإلكترونات الثانوية إلى أن تكون شديدة التمركز عند نقطة اصطدام حزمة الإلكترونات الأولية، مما يُتيح إمكانية جمع صور لسطح العينة بدقة أفضل من 1 نانومتر ، وباستخدام أجهزة متخصصة على المستوى الذري. [ 57 ]

يعتمد سطوع الإشارة على عدد الإلكترونات الثانوية التي تصل إلى الكاشف . إذا دخل الشعاع العينة عموديًا على سطحها، فإن الإلكترونات تخرج بشكل متناظر حول محور الشعاع. ومع ازدياد زاوية السقوط، يزداد حجم التفاعل الذي تخرج منه الإلكترونات، وتقل مسافة "الهروب" من أحد جانبي الشعاع، مما يؤدي إلى انبعاث المزيد من الإلكترونات الثانوية من العينة. ولذلك، تميل الأسطح والحواف الحادة إلى أن تكون أكثر سطوعًا من الأسطح المستوية، مما ينتج عنه صور ذات مظهر ثلاثي الأبعاد واضح المعالم، يشبه صورة الضوء المنعكس. [ 55 ]

الإلكترونات المتناثرة للخلف

الإلكترونات المتناثرة عكسيًا (BSE) هي تلك التي تنبعث من العينة نتيجة تفاعلات الحزمة مع العينة، حيث تخضع الإلكترونات لتشتت مرن وغير مرن . وتُعرَّف تقليديًا بأنها ذات طاقات تتراوح من 50 إلكترون فولت إلى طاقة الحزمة الأولية. يمكن استخدام الإلكترونات المتناثرة عكسيًا في كلٍّ من التصوير وتكوين صورة حيود الإلكترونات المتناثرة عكسيًا (EBSD)، والتي يمكن استخدامها لتحديد التركيب البلوري للعينة. [ 55 ]

نمط حيود الإلكترونات المرتدة لبلورات السيليكون أحادية البلورة (001) تم الحصول عليه عند 20 كيلو فولت باستخدام كاشف أكسفورد S2

تُشتت العناصر الثقيلة (ذات العدد الذري العالي) الإلكترونات بقوة أكبر من العناصر الخفيفة (ذات العدد الذري المنخفض)، ولذلك تظهر أكثر سطوعًا في الصورة. لذا، يمكن استخدام صور الإلكترونات المرتدة (BSE) للكشف عن مناطق ذات تركيبات كيميائية مختلفة. [ 55 ] ولتحسين الإشارة، تُوضع كواشف مخصصة للإلكترونات المرتدة فوق العينة على شكل حلقة دائرية، متحدة المركز مع حزمة الإلكترونات، مما يزيد من زاوية التجميع المجسمة. عادةً ما تكون كواشف BSE إما من النوع الوميضي أو شبه الموصل. عند استخدام جميع أجزاء الكاشف لتجميع الإلكترونات بشكل متناظر حول الحزمة، ينتج تباين في العدد الذري. مع ذلك، ينتج تباين طوبوغرافي قوي عند تجميع الإلكترونات المرتدة من جانب واحد فوق العينة باستخدام كاشف BSE غير متناظر وموجه؛ ويظهر التباين الناتج كما لو كان هناك إضاءة للطوبوغرافيا من ذلك الجانب. يمكن تصنيع كواشف أشباه الموصلات في قطاعات شعاعية يمكن تشغيلها أو إيقافها للتحكم في نوع التباين الناتج واتجاهه. [ 55 ]

التصوير بالتباين الحيودي

تعتمد تقنية تباين الحيود على اختلاف اتجاه الإلكترونات المنعكسة أو سعتها، أو كليهما، تبعًا للموقع، كآلية للتباين. وتتمثل هذه التقنية في استخدام فتحة عدسة موضوعية أسفل العينة، واختيار اتجاه حيود واحد أو مجموعة من اتجاهات الحيود المختلفة، ثم استخدامها لتكوين صورة. عندما تشمل الفتحة اتجاه الشعاع الساقط، تُسمى الصور "صور المجال الساطع" ، لأن مجال الرؤية سيكون ساطعًا بشكل موحد في غياب العينة. أما عندما لا تشمل الفتحة اتجاه الشعاع الساقط، فتُسمى الصور "صور المجال المظلم" ، لأن الصورة ستكون مظلمة بشكل موحد في غياب العينة. [ 32 ] [ 33 ] يُعرف أحد أنواع هذه التقنية باسم مجهر المجال المظلم ذي الشعاع الضعيف ، ويمكن استخدامه للحصول على صور عالية الدقة للعيوب، مثل الانخلاعات. [ 58 ]

التصوير عالي الدقة

صورة عالية الدقة من كيو تي

في المجهر الإلكتروني النافذ عالي الدقة (يُسمى أحيانًا المجهر الإلكتروني عالي الدقة)، تمر عبر فتحة العدسة الشيئية عدة حزم ضوئية مختلفة منحرفة. تتداخل هذه الحزم، مما يؤدي إلى تكوين صور تمثل البنية الذرية للمادة. قد تشمل هذه الصور اتجاه الشعاع الساقط، أو في حالة المجاهر الإلكترونية النافذة الماسحة، فإنها عادةً ما تشمل نطاقًا من الحزم المنحرفة باستثناء الشعاع الساقط. [ 28 ] اعتمادًا على سُمك العينات وانحرافات المجهر ، يمكن تفسير هذه الصور مباشرةً من حيث مواقع أعمدة الذرات، أو تتطلب تحليلًا أكثر دقة باستخدام حسابات التشتت المتعدد للإلكترونات [ 59 ] وتأثير دالة نقل التباين للمجهر. [ 60 ]

توجد العديد من تقنيات التصوير الأخرى التي يمكن أن تؤدي إلى الحصول على معلومات على المستوى الذري. تستخدم تقنية التصوير المجسم الإلكتروني تداخل الإلكترونات التي مرت عبر العينة مع شعاع مرجعي. [ 61 ] أما تقنية المجهر الإلكتروني الماسح رباعي الأبعاد (4D STEM) فتجمع بيانات حيود الأشعة السينية عند كل نقطة باستخدام جهاز مسح، ثم تعالجها لإنتاج أنواع مختلفة من الصور. [ 62 ]

التحليل المجهري بالأشعة السينية

طيف EDS للقشرة المعدنية لجمبري الفتحات الحرارية Rimicaris exoculata [ 63 ] معظم هذه القمم هي خطوط K-alpha و K-beta . قمة واحدة من قشرة L الحديدية.

يُعدّ التحليل المجهري بالأشعة السينية طريقةً للحصول على معلومات كيميائية محلية باستخدام جميع أنواع المجاهر الإلكترونية، على الرغم من شيوع استخدامه في أجهزة المسح الضوئي. فعندما تتفاعل الإلكترونات عالية الطاقة مع الذرات، يمكنها انتزاع إلكترونات، لا سيما تلك الموجودة في الأغلفة الداخلية وإلكترونات النواة . ثم تُملأ هذه الأغلفة بإلكترونات التكافؤ ، ويمكن تحويل فرق الطاقة بين حالات التكافؤ والنواة إلى أشعة سينية يتم الكشف عنها بواسطة مطياف. وتتميز طاقات هذه الأشعة السينية بخصائص نوعية للذرات، مما يسمح بدراسة التركيب الكيميائي المحلي. [ 55 ]

ثعابين البحر

طيف فقدان طاقة الإلكترون التجريبي، والذي يوضح السمات الرئيسية: ذروة الفقد الصفري، وذروات البلازمون، وحافة فقدان النواة.

على غرار التحليل المجهري بالأشعة السينية، يمكن تحليل طاقات الإلكترونات التي نفذها عبر العينة، مما يوفر معلومات تتراوح من تفاصيل البنية الإلكترونية المحلية إلى المعلومات الكيميائية. [ 64 ]

حيود الإلكترون

يمكن استخدام مجاهر الإلكترون النافذ في وضع حيود الإلكترونات ، حيث تُنتج خريطة لزوايا خروج الإلكترونات من العينة. وتكمن مزايا حيود الإلكترونات على علم البلورات بالأشعة السينية بشكل أساسي في حجم البلورات. ففي علم البلورات بالأشعة السينية، تكون البلورات مرئية بالعين المجردة، ويبلغ طولها عادةً مئات الميكرومترات. أما في حيود الإلكترونات، فيجب ألا يتجاوز سمك البلورات بضع مئات من النانومترات، ولا يوجد حد أدنى لحجمها. إضافةً إلى ذلك، يُجرى حيود الإلكترونات باستخدام مجهر إلكتروني نافذ، والذي يمكن استخدامه أيضًا للحصول على أنواع أخرى من المعلومات، دون الحاجة إلى جهاز منفصل. [ 65 ] [ 40 ]

تغيرات كثافة الإلكترونات المتقاربة مع سمك السيليكون (001)

توجد العديد من أنواع حيود الإلكترونات، وذلك تبعًا لنوع ظروف الإضاءة المستخدمة. عند استخدام حزمة متوازية مع فتحة لتحديد المنطقة المعرضة للإلكترونات، تُلاحظ عادةً ملامح حيود حادة، وهي تقنية تُسمى حيود الإلكترونات في منطقة محددة . [ 32 ] غالبًا ما تكون هذه التقنية هي الأكثر استخدامًا. هناك طريقة شائعة أخرى تستخدم الإضاءة المخروطية وتُسمى حيود الإلكترونات بالحزمة المتقاربة (CBED). تُعد هذه الطريقة مناسبة لتحديد تناظر المواد. أما الطريقة الثالثة فهي حيود الإلكترونات بالترنح ، حيث تدور حزمة متوازية بزاوية كبيرة، مما يُنتج نمط حيود متوسط. [ 66 ] غالبًا ما يكون لهذا النمط تشتت متعدد أقل. [ 67 ]

تقنيات أخرى للمجهر الإلكتروني

تحضير العينة

حشرة مطلية بالذهب لعرضها باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح (SEM)

لا يمكن في الغالب فحص عينات المجهر الإلكتروني مباشرةً. لذا، يلزم تحضير العينات لتثبيتها وتحسين التباين. وتختلف تقنيات التحضير اختلافًا كبيرًا تبعًا لنوع العينة وخصائصها المراد فحصها، فضلًا عن نوع المجهر المستخدم. يمكن الاطلاع على التفاصيل في المقالات الرئيسية ذات الصلة المذكورة أعلاه.

العيوب

مجهر إلكتروني ناقل وماسح من شركة JEOL، صنع في منتصف سبعينيات القرن العشرين.

تُعدّ المجاهر الإلكترونية مكلفة من حيث البناء والصيانة. ويجب وضع المجاهر المصممة لتحقيق دقة عالية في مبانٍ مستقرة (أحيانًا تحت الأرض) مزودة بخدمات خاصة مثل أنظمة إلغاء المجال المغناطيسي وحوامل مضادة للاهتزاز. [ 68 ]

يُشترط فحص العينات في الغالب في بيئة مفرغة من الهواء ، لأن جزيئات الهواء تُشتت الإلكترونات. ويُستثنى من ذلك المجهر الإلكتروني في الطور السائل [ 69 ]، الذي يستخدم إما خلية سائلة مغلقة أو حجرة بيئية، كما هو الحال في المجهر الإلكتروني الماسح البيئي ، والذي يسمح بفحص العينات المُرطبة في بيئة رطبة ذات ضغط منخفض (يصل إلى 20 تور أو 2.7 كيلو باسكال ). كما طُوّرت تقنيات متنوعة للفحص المجهري الإلكتروني الموضعي للعينات الغازية. [ 70 ]  

فيروس Pleolipoviral (HRPV-6) [ 71 ]

تتطلب عينات المواد المُرطَّبة، بما في ذلك جميع العينات البيولوجية تقريبًا، تحضيرًا بطرقٍ مُتعددة لتحقيق استقرارها، وتقليل سُمكها (التقطيع فائق الرقة)، وزيادة تباينها البصري الإلكتروني (التلوين). قد تُؤدي هذه العمليات إلى ظهور بعض التشوهات ، ولكن يُمكن عادةً تحديدها بمقارنة النتائج المُتحصَّل عليها باستخدام طرق تحضير عينات مُختلفة جذريًا. ومنذ ثمانينيات القرن الماضي، ازداد استخدام تحليل العينات المُجمدة بالتجميد والتزجيج. [ 72 ] [ 73 ] [ 74 ]

تعاني العديد من العينات من أضرار إشعاعية قد تُغير بنيتها الداخلية. قد يعود ذلك إلى عمليات التحلل الإشعاعي أو المقذوفات، كما في حالة تصادمات متتالية . [ 75 ] وقد يُشكل هذا مشكلة خطيرة للعينات البيولوجية. [ 76 ] [ 77 ]

انظر أيضاً

مراجع

  1. ↑ "المجهر الإلكتروني" . موسوعة بريتانيكا . تم الاطلاع عليه بتاريخ 26 يونيو 2024 .
  2. ↑ كالبك سي جيه (1944). "الخلفية التاريخية لبصريات الإلكترون". مجلة الفيزياء التطبيقية . 15 (10): 685-690 . Bibcode : 1944JAP....15..685C . doi : 10.1063/1.1707371 .
  3. ↑ هيرتز، هـ. (2019). "مقدمة لأوراق هاينريش هيرتز المتنوعة (1895) بقلم فيليب لينارد". في: موليجان، ج. ف. (محرر). هاينريش رودولف هيرتز (1857-1894) : مجموعة من المقالات والخطب . روتليدج. ص 87-88 . doi : 10.4324/9780429198960-4 . ISBN   978-0-429-19896-0.
  4. ^ فيشيرت إي (1899). "Experimentelle Unter suchungen über die Geschwindigkeit und die Magnetische Ablenkbarkeit der Kathodenstrahlen " [ تحقيقات تجريبية حول السرعة والانحراف المغناطيسي لأشعة الكاثود ] . Annalen der Physik und Chemie (باللغة الألمانية). 305 (12): 739– 766. بيب كود : 1899AnP...305..739W . دوى : 10.1002/andp.18993051203 .
  5. ↑ وينيلت أ (1905). "X. حول تفريغ الأيونات السالبة بواسطة أكاسيد المعادن المتوهجة، والظواهر ذات الصلة". مجلة لندن وإدنبرة ودبلن الفلسفية ومجلة العلوم . 10 (55): 80-90 . doi : 10.1080/14786440509463347 .
  6. ^ بوش ح (1926). "Berechnung der Bahn von Kathodenstrahlen im axialsymmetrischen elektromagnetischen Felde" [ حساب مسار أشعة الكاثود في مجال كهرومغناطيسي متماثل محوريًا ] . أنالين دير فيزيك (في المانيا). 386 (25): 974– 993. بيب كود : 1926AnP...386..974B . دوى : 10.1002/andp.19263862507 .
  7. ↑ دانين، جين (1998) ليو زيلارد المخترع: عرض شرائح (1998، بودابست، محاضرة في مؤتمر) . dannen.com
  8. ↑ مولفي تي (1962). "أصول وتطور المجهر الإلكتروني تاريخيًا". المجلة البريطانية للفيزياء التطبيقية . 13 (5): 197-207 . doi : 10.1088/0508-3443/13/5/303 .
  9. ↑ تاو ي (2018). "دراسة تاريخية للمناقشات حول اختراع المجهر الإلكتروني وحقوق اختراعه" . وقائع المؤتمر الدولي الثالث حول التعليم المعاصر والعلوم الاجتماعية والإنسانية (ICCESSH 2018) . التقدم في بحوث العلوم الاجتماعية والتعليم والعلوم الإنسانية. مطبعة أتلانتس. ص 1438-1441 . doi : 10.2991/iccessh-18.2018.313 . ISBN  978-94-6252-528-3.
  10. ↑ فروندليش، م.م. (أكتوبر 1963). "أصل المجهر الإلكتروني". مجلة ساينس . 142 (3589): 185-188 . رمز Bibcode : 1963Sci...142..185F . doi : 10.1126/science.142.3589.185 . PMID 14057363 . 
  11. ↑ رودنبرغ، ر. (2010). أصل وخلفية اختراع المجهر الإلكتروني . التقدم في التصوير وفيزياء الإلكترون. المجلد 160. الصفحات 171-205 . doi : 10.1016/s1076-5670(10)60005-5 . ISBN   978-0-12-381017-5..
  12. ^ نول م، روسكا إي (1932). "Beitrag zur Geometrischen Elektronenoptik. I". أنالين دير فيزيك . 404 (5): 607–640 . بيب كود : 1932AnP...404..607K . دوى : 10.1002/andp.19324040506 .
  13. ^ نول م، روسكا إي (1932). "داس الإلكترونميكروسكوب". Zeitschrift für Physik (باللغة الألمانية). 78 ( 5– 6): 318– 339. بيب كود : 1932ZPhy...78..318K . دوى : 10.1007/BF01342199 .
  14. ↑ رودنبرغ ر. "جهاز لإنتاج صور للأشياء" . قاعدة بيانات البحث العام عن براءات الاختراع . تم الاطلاع عليه بتاريخ 24 فبراير 2023 .
  15. ↑ رودنبرغ ر. "جهاز لإنتاج صور للأشياء" . قاعدة بيانات البحث العام عن براءات الاختراع . تم الاطلاع عليه بتاريخ 24 فبراير 2023 .
  16. ^ رودنبرغ ر (يوليو 1932). "إلكتروننميكروسكوب". يموت Naturwissenschaften . 20 (28): 522. بيب كود : 1932NW .....20..522R . دوى : 10.1007/BF01505383 .
  17. ↑ "تاريخ المجهر الإلكتروني" . مجلة LEO للمجهر الإلكتروني . تم الاطلاع عليه بتاريخ 26 يونيو 2024 .
  18. 1 2 روسكا، إرنست (1986). "سيرة إرنست روسكا الذاتية" . مؤسسة نوبل. مؤرشف من الأصل في 31 مايو 2013. تم الاطلاع عليه في 31 يناير 2010 .
  19. ^ كروجر دي إتش، شنيك بي، جيلدربلوم إتش آر (مايو 2000). “هيلموت روسكا وتصور الفيروسات”. لانسيت . 355 (9216): 1713–1717 . دوى : 10.1016/S0140-6736(00)02250-9 . بميد 10905259 . 
  20. ^ فون أردين م، بيشر د (1940). "Unter suchung von Metalloxyd-Rauchen mit dem Universal-Elektronenmikroskop" [ دراسة تدخين أكسيد المعدن باستخدام المجهر الإلكتروني العالمي ] . Zeitschrift für Elektrochemie und Angewandte Physikalische Chemie (باللغة الألمانية). 46 (4): 270-277 . دوى : 10.1002/bbpc.19400460406 .
  21. ↑ تاريخ المجهر الإلكتروني، ١٩٣١-٢٠٠٠ . Authors.library.caltech.edu (٢٠٠٢-١٢-١٠). تاريخ الاطلاع: ٢٠١٧-٠٤-٢٩.
  22. ↑ "أول مجهر إلكتروني في أمريكا الشمالية" .
  23. ↑ "جيمس هيلير" . مخترع الأسبوع: الأرشيف . 1 مايو 2003. مؤرشف من الأصل في 23 أغسطس 2003. تم الاطلاع عليه في 31 يناير 2010 .
  24. ↑ هوكس، ب. و. (2021). بدايات المجهر الإلكتروني. الجزء الأول . لندن، سان دييغو، كاليفورنيا، كامبريدج، ماساتشوستس، أكسفورد: أكاديميك برس. رقم ISBN 978-0-323-91507-6.
  25. ↑ كرو إيه في، إيجنبرجر دي إن، وول جيه، ويلتر إل إم (1968-04-01). "مدفع إلكتروني باستخدام مصدر انبعاث حقلي". مراجعة الأدوات العلمية . 39 (4): 576-583 . رمز Bibcode : 1968RScI...39..576C . doi : 10.1063/1.1683435 .
  26. ↑ كرو، أ. ف. (نوفمبر 1966). "المجاهر الإلكترونية الماسحة: هل الدقة العالية ممكنة؟". مجلة ساينس . 154 (3750): 729-738 . رمز Bibcode : 1966Sci...154..729C . doi : 10.1126/science.154.3750.729 . PMID 17745977 . 
  27. ↑ سميث دي جيه، كامبس آر إيه، فريمان إل إيه، هيل آر، نيكسون دبليو سي، سميث كيه سي (مايو 1983). " التحسينات الحديثة على المجهر الإلكتروني عالي الدقة 600 كيلو فولت بجامعة كامبريدج". مجلة المجهر . 130 (2): 127-136 . doi : 10.1111/j.1365-2818.1983.tb04211.x
  28. 1 2 سبنس جيه سي (2013). المجهر الإلكتروني عالي الدقة . doi : 10.1093/acprof:oso/9780199668632.001.0001 . ISBN 978-0-19-966863-2.
  29. ↑ هاوكس، ب. و. (28 سبتمبر 2009). "تصحيح الانحرافات في الماضي والحاضر". المعاملات الفلسفية للجمعية الملكية أ: العلوم الرياضية والفيزيائية والهندسية . 367 (1903): 3637-3664 . رمز Bibcode : 2009RSPTA.367.3637H . doi : 10.1098/rsta.2009.0004 . PMID 19687058 . 
  30. ↑ روز، هـ. هـ. (يونيو 2009). "الجوانب التاريخية لتصحيح الانحرافات". مجلة المجهر الإلكتروني . 58 (3): 77-85 . doi : 10.1093/jmicro/dfp012 . PMID 19254915 . 
  31. 1 2 تومسون-راسل كيه سي، إيدينجتون جيه دبليو (1977). تقنيات تحضير عينات المجهر الإلكتروني في علم المواد . doi : 10.1007/978-1-349-03403-1 .
  32. 1 2 3 هيرش، ب. ب.، هاوي، أ.، نيكلسون، ر. ب.، باشلي، د. و.، ويلان، م. ج. (1965). المجهر الإلكتروني للبلورات الرقيقة . لندن: بتروورث. ISBN 0-408-18550-3. OCLC 2365578 . 
  33. 1 2 3 رايمر ، ل. (1997). "المجهر الإلكتروني النافذ" . سلسلة سبرينغر في العلوم البصرية . 36. رمز Bibcode : 1997SSOS...36824.2R . doi : 10.1007/978-3-662-14824-2 . ISBN 978-3-662-14826-6ISSN 0342-4111​​ 
  34. ↑ ويليامز دي بي، كارتر سي بي (2009). المجهر الإلكتروني النافذ . doi : 10.1007/978-0-387-76501-3 .
  35. ↑ إرني ر، روسيل إم دي، كيسيلوفسكي سي، داهمن يو (مارس 2009). "التصوير بدقة ذرية باستخدام مسبار إلكتروني دون 50 بيكومتر" . رسائل المراجعة الفيزيائية . 102 (9) 096101. رمز Bibcode : 2009PhRvL.102i6101E . doi : 10.1103/PhysRevLett.102.096101 . OSTI 960283. PMID 19392535 .  
  36. ↑ "مقياس الأشياء" . مكتب علوم الطاقة الأساسية، وزارة الطاقة الأمريكية. 26 مايو 2006. مؤرشف من الأصل في 1 فبراير 2010. تم الاطلاع عليه في 31 يناير 2010 .
  37. ↑ أوكيف، إم. إيه.، وألارد، إل. إف. (18 يناير 2004). "المجهر الإلكتروني دون الأنجستروم للقياسات النانوية دون الأنجستروم" (ملف PDF) . جسر المعلومات: المعلومات العلمية والتقنية لوزارة الطاقة الأمريكية - برعاية مكتب العلوم والتكنولوجيا والهندسة.
  38. 1 2 كول هـ، رايمر ل (2008). "عناصر المجهر الإلكتروني النافذ". المجهر الإلكتروني النافذ . سلسلة سبرينغر في العلوم البصرية. المجلد 36. سبرينغر. doi : 10.1007/978-0-387-40093-8_4 . ISBN  978-0-387-40093-8.
  39. ↑ دوسيفيتش ف، بورك ج، إيك ج (يناير 2010). "اختيار جهد التسريع المناسب للمجهر الإلكتروني الماسح (مقدمة للمبتدئين)". مجلة المجهر اليوم . 18 (1): 48-52 . doi : 10.1017/s1551929510991190 .
  40. 1 2 ساها أ، نيا إس إس، رودريغيز جيه إيه (سبتمبر 2022). "حيود الإلكترون للبلورات الجزيئية ثلاثية الأبعاد" . مراجعات كيميائية . 122 (17): 13883-13914 . doi : 10.1021/acs.chemrev.1c00879 . PMC 9479085. PMID 35970513 .  
  41. ↑ "المجهر الإلكتروني | شركة ثيرمو فيشر ساينتيفيك - الولايات المتحدة" . 2022-04-07. مؤرشف من الأصل في 2022-04-07 . تم الاطلاع عليه في 2024-07-13 .
  42. ↑ Drummy LF, Yang J, Martin DC (2004). "المجهر الإلكتروني ذو الجهد المنخفض للأغشية الرقيقة من البوليمرات والجزيئات العضوية" . Ultramicroscopy . 99 (4): 247–256 . doi : 10.1016/j.ultramic.2004.01.011 .
  43. ↑ باور إي (1994-09-01). "المجهر الإلكتروني منخفض الطاقة" . تقارير عن التقدم في الفيزياء . 57 (9): 895-938 . doi : 10.1088/0034-4885/57/9/002 . ISSN 0034-4885 . 
  44. ↑ ترومب، ر.م. (2000). "المجهر الإلكتروني منخفض الطاقة" . مجلة آي بي إم للبحوث والتطوير . 44 (4): 503-516 . doi : 10.1147/rd.444.0503 . ISSN 0018-8646 . 
  45. 1 2 "المجهر الإلكتروني عالي الجهد | المسح، التصوير، التكبير | بريتانيكا" . www.britannica.com . تاريخ الاسترجاع: 2026-08-02 .
  46. ↑ "مجهر إلكتروني فائق الجهد، UHV-EM | مسرد المصطلحات | شركة JEOL المحدودة" . مجهر إلكتروني فائق الجهد، UHV-EM | مسرد المصطلحات | شركة JEOL المحدودة . تم الاطلاع عليه بتاريخ 2026-08-02 .
  47. ↑ "ما هو مركز أبحاث المجهر الإلكتروني فائق الجهد العالي؟ | مركز أبحاث المجهر الإلكتروني فائق الجهد العالي، جامعة أوساكا" . www.uhvem.osaka-u.ac.jp . تاريخ الوصول: 2 أغسطس 2026 . 
  48. ↑ سميث دي جيه (1997-12-01). "تحقيق الدقة الذرية باستخدام المجهر الإلكتروني" . تقارير عن التقدم في الفيزياء . 60 (12): 1513-1580 . رمز Bibcode : 1997RPPh...60.1513S . doi : 10.1088/0034-4885/60/12/002 . ISSN 0034-4885 . 
  49. ↑ بيني كوك، إس. جيه. (2012-12-01). "رؤية الذرات بوضوح أكبر: التصوير المجهري الإلكتروني الماسح من عصر كرو إلى اليوم" . المجهر فائق الدقة . العدد التذكاري لألبرت فيكتور كرو. 123 : 28-37 . doi : 10.1016/j.ultramic.2012.05.005 . ISSN 0304-3991 . PMID 22727567 .  
  50. ↑ إرني ر (23-03-2015). التصوير المصحح للانحرافات في المجهر الإلكتروني النافذ: مقدمة ( الطبعة الثانية). شركة وورلد ساينتيفيك للنشر. ISBN  978-1-78326-530-5.
  51. ↑ روز هـ (2006-07-01). "تصحيح الانحرافات في المجهر الإلكتروني" . المجلة الدولية لبحوث المواد . 97 (7): 885-889 . doi : 10.1515/ijmr-2006-0143 . ISSN 2195-8556 . 
  52. ↑ ترومب ر، هانون ج، إليس أ، وان و، بيرغهاوس أ، شاف أ (يونيو 2010). "جهاز جديد لتقنية LEEM/PEEM مُصحَّح الانحرافات ومُرشَّح الطاقة. الجزء الأول: المبادئ والتصميم" . المجهرية الفائقة . 110 (7): 852-861 . doi : 10.1016/j.ultramic.2010.03.005 . PMID 20395048 . 
  53. ↑ أكونا س (28-05-2015). "المجهر الإلكتروني الانعكاسي (REM)" (ملف PDF) . مرافق البحث الأساسية بجامعة ولاية أريزونا . مؤرشف (ملف PDF) من الأصل بتاريخ 29-07-2026 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 29-07-2026 .
  54. ↑ "SPLEEM" . المركز الوطني للمجهر الإلكتروني (NCEM). مؤرشف من الأصل بتاريخ 29-05-2010 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 31-01-2010 .
  55. 1 2 3 4 5 6 غولدشتاين ج (31 يناير 2003). المجهر الإلكتروني الماسح والتحليل المجهري بالأشعة السينية: الطبعة الثالثة . سبرينغر الولايات المتحدة. ISBN 978-0-306-47292-3.
  56. ↑ إيفرهارت، تي إي، وثورنلي، آر إف إم (1960). "كاشف واسع النطاق لتيارات الإلكترون منخفضة الطاقة ذات التيارات الميكروية" (ملف PDF) . مجلة الأدوات العلمية . 37 (7): 246-248 . رمز Bibcode : 1960JScI...37..246E . doi : 10.1088/0950-7671/37/7/307 .
  57. ↑ سيستون جيه، براون إتش جي، دالفونسو إيه جيه، كويرالا بي، أوفوس سي، لين واي، وآخرون . (17 يونيو 2015). "تحديد السطح من خلال التصوير الإلكتروني الثانوي ذي الدقة الذرية" . نيتشر كوميونيكيشنز . 6 (1) 7358. Bibcode : 2015NatCo...6.7358C . doi : 10.1038/ ncomms8358 . ISSN 2041-1723 . PMC 4557350. PMID 26082275 .    
  58. ↑ كوكاين دي جيه، راي آي إل، ويلان إم جيه (1969-12-01). "دراسات حول مجالات إجهاد الانخلاع باستخدام حزم ضعيفة" . المجلة الفلسفية . 20 (168): 1265-1270 . رمز Bibcode : 1969PMag...20.1265C . doi : 10.1080/14786436908228210 . ISSN 0031-8086 . 
  59. ↑ إيشيزوكا ك (2004-02-01). "طريقة FFT متعددة الشرائح - الذكرى السنوية الخامسة والخمسون" . المجهر والتحليل المجهري . 10 (1): 34-40 . Bibcode : 2004MiMic..10...34I . doi : 10.1017/S1431927604040292 . ISSN 1431-9276 . PMID 15306065 .  
  60. ↑ ويد، ر. هـ. (1992-10-01). "نظرة موجزة على التصوير ونقل التباين" . المجهرية الفائقة . 46 (1): 145-156 . doi : 10.1016/0304-3991(92)90011-8 . ISSN 0304-3991 . 
  61. ↑ كولي، ج. م. (1992-06-01). "عشرون شكلاً من أشكال التصوير المجسم الإلكتروني" . المجهرية الفائقة . 41 (4): 335-348 . رمز Bibcode : 1992Ultmi..41..335C . doi : 10.1016/0304-3991(92)90213-4 . ISSN 0304-3991 . 
  62. ↑ أوفوس سي (2019-06-01). "المجهر الإلكتروني الماسح النافذ رباعي الأبعاد (4D-STEM): من حيود النانو الماسح إلى التصوير التداخلي وما بعده" . المجهر والتحليل المجهري . 25 (3): 563-582 . Bibcode : 2019MiMic..25..563O . doi : 10.1017/S1431927619000497 . ISSN 1431-9276 . PMID 31084643 .  
  63. ↑ كورباري، ل، وآخرون (2008). "رواسب أكسيد الحديد المرتبطة بالبكتيريا التكافلية الخارجية في روبيان الفتحات الحرارية المائية Rimicaris exoculata" . علوم الأرض الحيوية . 5 (5): 1295-1310 . Bibcode : 2008BGeo....5.1295C . doi : 10.5194/bg-5-1295-2008 . 
  64. ↑ إيغرتون، آر. إف. (1986)، "مقدمة في مطيافية فقدان طاقة الإلكترون"، مطيافية فقدان طاقة الإلكترون في المجهر الإلكتروني ، بوسطن، ماساتشوستس: سبرينغر الولايات المتحدة، ص 1-25 ، doi : 10.1007/978-1-4615-6887-2_1 ، ISBN  978-1-4615-6889-6تم الاطلاع عليه بتاريخ 25 فبراير 2025
  65. ↑ كولي، ج. م. (1995). فيزياء الحيود . مكتبة نورث هولاند الشخصية ( الطبعة الثالثة). أمستردام: إلسيفير. ISBN  978-0-444-82218-5.
  66. ↑ فينسنت ر، ميدجلي ب (1994). "نظام اهتزاز شعاع مخروطي مزدوج لقياس شدة حيود الإلكترون المتكاملة". المجهرية الفائقة . 53 (3): 271-82 . doi : 10.1016/0304-3991(94)90039-6 .
  67. ↑ أون، سي إس: أطروحة دكتوراه، تصميم نظام والتحقق من تقنية حيود الإلكترون بالترنح، جامعة نورث وسترن، 2005، http://www.numis.northwestern.edu/Research/Current/precession.shtml
  68. ↑ سونغ واي إل، لين إتش واي، مانيكاندان إس، تشانغ إل إم (مارس 2022). "تصميم نظام لإلغاء المجال المغناطيسي للحد من التداخل الكهرومغناطيسي وتجنب المخاطر البيئية" . المجلة الدولية للبحوث البيئية والصحة العامة . 19 (6): 3664. doi : 10.3390/ijerph19063664 . PMC 8954143. PMID 35329350 .  
  69. ↑ ويليامسون إم جيه، ترومب آر إم، فيريكين بي إم، هول آر، روس إف إم (أغسطس 2003). "المجهر الديناميكي لنمو التجمعات النانوية عند السطح البيني بين المادة الصلبة والسائلة". مجلة نيتشر ماتيريالز . 2 (8): 532-536 . رمز Bibcode : 2003NatMa...2..532W . doi : 10.1038/nmat944 . PMID 12872162 . 
  70. ↑ غاي، ب. ل.، وبويز، إ. د. (مارس 2009). "تطورات في المجهر الإلكتروني النافذ البيئي الموضعي ذي الدقة الذرية والمجهر الإلكتروني الموضعي المصحح للانحرافات 1A". مجلة أبحاث وتقنيات المجهر . 72 (3): 153-164 . arXiv : 1705.05754 . doi : 10.1002/jemt.20668 . PMID 19140163 . 
  71. ↑ ديمينا تي إيه، أوكسانين إتش إم (2020-11-01). "فيروسات أثرية متعددة الأشكال: تتوسع عائلة Pleolipoviridae بسبعة أنواع جديدة" . أرشيف علم الفيروسات . 165 (11): 2723-2731 . doi : 10.1007/s00705-020-04689-1 . ISSN 1432-8798 . PMC 7547991. PMID 32583077 .   
  72. ↑ أدريان م، دوبوشيه ج، ليبول ج، ماكدويل أ.و. (1984). "المجهر الإلكتروني فائق البرودة للفيروسات" (ملف PDF) . مجلة نيتشر (مخطوطة مُقدمة). 308 (5954): 32-36 . Bibcode : 1984Natur.308...32A . doi : 10.1038/308032a0 . PMID 6322001 . 
  73. ↑ ساباناي، آي.، أراد، تي.، وينر، إس.، جايجر، بي. (سبتمبر 1991). "دراسة مقاطع الأنسجة المجمدة غير المصبوغة والمُزجّجة باستخدام المجهر الإلكتروني المناعي بالتبريد". مجلة علوم الخلية . 100 (1): 227-236 . doi : 10.1242/jcs.100.1.227 . PMID 1795028 . 
  74. ↑ كاساس إس، دوماس جي، ديتلر جي، كاتسيكاس إس، أدريان إم (يوليو 2003). "التزجيج في عينات المجهر الإلكتروني المبرد كما كُشِف عنه بالتصوير الفوتوغرافي عالي السرعة" . مجلة المجهر . 211 (الجزء 1): 48-53 . doi : 10.1046/j.1365-2818.2003.01193.x . PMID 12839550 . 
  75. ↑ إيغرتون، آر. إف.، لي، ب.، مالاك، م. (1 أغسطس/آب 2004). "التلف الإشعاعي في المجهر الإلكتروني النافذ والماسح" . مجلة ميكرون . ندوة ووهان الدولية حول المجهر الإلكتروني المتقدم. 35 (6): 399-409 . doi : 10.1016/j.micron.2004.02.003 . ISSN 0968-4328 . PMID 15120123 .  
  76. ↑ جلايسر، ر.م. (1971-08-01). "محدودية المعلومات المهمة في المجهر الإلكتروني البيولوجي نتيجةً للتلف الإشعاعي" . مجلة أبحاث البنية الدقيقة . 36 (3): 466-482 . doi : 10.1016/S0022-5320(71)80118-1 . ISSN 0022-5320 . PMID 5107051 .  
  77. ↑ بيكر إل إيه، روبنشتاين جيه إل (2010-01-01)، جنسن جي جيه (محرر)، "الفصل الخامس عشر - التلف الإشعاعي في المجهر الإلكتروني التبريدي" ، طرق في علم الإنزيمات ، المجهر الإلكتروني التبريدي الجزء أ: تحضير العينات وجمع البيانات، 481 ، دار النشر الأكاديمية: 371-388 ، doi : 10.1016/s0076-6879(10)81015-8 ، PMID 20887865 ، تاريخ الاسترجاع : 2025-05-15