ثلاثي فلوريد النيتروجين
ثلاثي فلوريد النيتروجين هو مركب غير عضوي صيغته الكيميائية ( NF3)3 ) هو غاز سام عديم اللون وغيرقابلللاشتعال،ذو رائحة عفنة خفيفة. وعلى عكس الأمونيا، فهو غير قاعدي. ويُستخدم بشكل متزايد في تصنيعشاشات العرض المسطحة،والخلايا الكهروضوئية،LED،وغيرها منالإلكترونيات الدقيقة. [ 6 ] NFيُعدّغاز ثاني أكسيد الكربون ( CO₂) غازًا دفيئًا ، ولهقدرة على إحداث الاحتباس الحراري العالمي(GWP) أكبر بـ 17200 مرة من قدرةثاني أكسيد الكربون (CO₂).٢ عند المقارنة على مدى ١٠٠ عام. [ ٧ ] [ ٨ ] [ ٩ ]
التخليق والتفاعلية
يمكن تحضير ثلاثي فلوريد النيتروجين من العناصر بوجود تفريغ كهربائي. [ 10 ] في عام 1903، حضّر أوتو روف ثلاثي فلوريد النيتروجين بالتحليل الكهربائي لمزيج منصهر من فلوريد الأمونيوم وفلوريد الهيدروجين . [ 11 ] وهو أقل تفاعلاً بكثير من ثلاثي هاليدات النيتروجين الأخرى: ثلاثي كلوريد النيتروجين ، وثلاثي بروميد النيتروجين ، وثلاثي يوديد النيتروجين ، وجميعها مواد متفجرة. وهو الوحيد بين ثلاثي هاليدات النيتروجين الذي يتميز بإنثالبي تكوين سالب . يُحضّر في العصر الحديث بالتفاعل المباشر للأمونيا والفلور، وبطريقة معدلة من طريقة روف. [ 6 ] ويُزوّد في أسطوانات مضغوطة.
NFالمركب 3 قليل الذوبان في الماء دون أن يخضع لتفاعل كيميائي. وهو غير قاعدي ذوعزم ثنائي قطبييبلغ 0.2340 ديباي. في المقابل، الأمونيا قاعدية وقطبية للغاية (1.47 ديباي). [ 12 ] يعكس هذا التباين اختلاف السالبية الكهربية بين الهيدروجين والفلور.
على غرار الأكسجين ، يُعدّ NF3 مؤكسدًا قويًا ولكنه بطيء. [ 6 ] فهو يؤكسد كلوريد الهيدروجين إلى الكلور:
- 2 NF 3 + 6 HCl → 6 HF + N 2 + 3 Cl 2
ومع ذلك، فإنه لا يهاجم المركبات العضوية (بشكل انفجاري) إلا عند درجات حرارة عالية. وبالتالي، فهو متوافق في الظروف القياسية مع العديد من أنواع البلاستيك، بالإضافة إلى الفولاذ ومونيل . [ 6 ]
عند درجة حرارة أعلى من 200-300 درجة مئوية، يتفاعل NF 3 مع المعادن والكربون والكواشف الأخرى ليعطي رباعي فلورو هيدرازين : [ 13 ]
- 2NF 3 + النحاس → N 2 F 4 + CuF 2
يتفاعل NF 3 مع الفلور وخماسي فلوريد الأنتيمون لإعطاء ملح رباعي فلورو الأمونيوم : [ 6 ]
- NF 3 + F 2 + SbF 5 → NF + 4 SbF − 6
يتفاعل NF 3 و B 2 H 6 بقوة حتى في درجات الحرارة المنخفضة جدًا لإنتاج غاز النيتروجين ، وثلاثي فلوريد البورون ، وحمض الهيدروفلوريك . [ 14 ]
التطبيقات
تستخدم التطبيقات ذات الأحجام الكبيرة مثل إنتاج ذاكرة الكمبيوتر DRAM ، وتصنيع شاشات العرض المسطحة ، والإنتاج واسع النطاق للخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة تقنية NF3. [ 15 ] [ 16 ]
النقش
يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل أساسي لإزالة السيليكون ومركبات السيليكون أثناء تصنيع أجهزة أشباه الموصلات مثل شاشات الكريستال السائل ، وبعض الخلايا الشمسية الرقيقة ، وغيرها من الإلكترونيات الدقيقة. في هذه التطبيقات، يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجينيتفكك المركب 3 مبدئيًا داخل البلازما. وتُعدجذورهي العوامل النشطة التي تهاجمالسيليكون متعدد التبلور،ونيتريد السيليكون، وأكسيدالسيليكون. ويمكن استخدامها أيضًا لإزالةسيليسيد التنجستن،والتنجستن، وبعض المعادن الأخرى. بالإضافة إلى استخدامه كعاملحفرفي تصنيع الأجهزة،فإن NF3 يستخدم أيضًا على نطاق واسع لتنظيفPECVD.
NFيتفكك المركب 3 بسهولة أكبر داخلالتفريغ منخفض الضغطمقارنةًبالمركبات المشبعة بالفلور(PFCs)وسداسي فلوريد الكبريت(SF6).٦ ) يمكن أن يؤدي وفرة الجذور الحرة سالبة الشحنة المتولدة إلى معدلات إزالة سيليكون أعلى، وتوفير مزايا أخرى للعملية مثل تقليل التلوث المتبقي وخفض إجهاد الشحنة الصافية على الجهاز المصنّع. وباعتباره عامل حفر وتنظيف يُستهلك بشكل أكثر شمولاً، فقد تم الترويج لغاز NF3كبديلمفضل بيئيًا لغازSF6.6 أو مركبات الكربون المشبعة بالفلور مثلسداسي فلورو الإيثان. [ 17 ]
تختلف كفاءة استخدام المواد الكيميائية المستخدمة في عمليات البلازما اختلافًا كبيرًا بين المعدات والتطبيقات. ويُهدر جزء كبير من المواد المتفاعلة في تيار العادم، وقد ينبعث في نهاية المطاف إلى الغلاف الجوي للأرض. ويمكن لأنظمة الحد من الانبعاثات الحديثة أن تقلل بشكل كبير من الانبعاثات الجوية. [ 18 ] NFلم تخضع المادة 3 لقيود استخدام كبيرة. التقرير السنوي لـ NF3- تم فرض قيود على الإنتاج والاستهلاك وانبعاثات النفايات من قبل الشركات المصنعة الكبيرة في العديد من البلدان الصناعية كرد فعل على النمو الجوي الملحوظ وبروتوكولكيوتو. [ 19 ]
يُعد غاز الفلور شديد السمية (F2 ، الفلور ثنائي الذرة ) بديلاً محايداً مناخياً لثلاثي فلوريد النيتروجين في بعض التطبيقات الصناعية. ويتطلب التعامل معه احتياطات أمان أكثر صرامة، لا سيما لحماية العاملين في مجال التصنيع. [ 20 ]
يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين أيضًا في ليزرات فلوريد الهيدروجين وفلوريد الديوتيريوم ، وهي أنواع من الليزرات الكيميائية . ويُفضّل استخدامه في هذه الليزرات على غاز الفلور نظرًا لسهولة التعامل معه.
غازات الدفيئة

الاحترار العالمي لـ NF3 تأتي في المرتبة الثانية بعدسان فرانسيسكو6 ضمن مجموعةالمعترف بها في بروتوكول كيوتو، وNFأُدرج المركب رقم 3 ضمن هذه المجموعة اعتبارًا من عام 2013 وبداية فترة الالتزام الثانية لبروتوكول كيوتو. ويُقدّرعمره في الغلاف الجويبـ 740 عامًا، [ 7 ] على الرغم من أن دراسات أخرى تشير إلى عمر أقصر قليلًا يبلغ 550 عامًا (وقيمة GWP مقابلة تبلغ 16800). [ 15 ]


منذ عام 1992، حين كان الإنتاج أقل من 100 طن، نما الإنتاج إلى ما يُقدّر بـ 4000 طن في عام 2007، ومن المتوقع أن يزداد بشكل ملحوظ. [ 15 ] من المتوقع أن يصل الإنتاج العالمي من NF3 إلى 8000 طن سنويًا بحلول عام 2010. وتُعدّ الصين أكبر منتج لـ NF3 في العالم بلا منازع.3 هي شركة الغازات الصناعيةوالكيماوياتالأمريكية "إير برودكتس آند كيميكالز. ويُقدّر أن 2% من إنتاجها منغاز NFيُطلق المركب 3 في الغلاف الجوي. [ 23 ] [ 24 ] توقع روبسون أن يكون الحد الأقصى للتركيز الجوي أقل من 0.16 جزء في التريليون (ppt) حجميًا، مما سيوفر أقل من 0.001 واط/م²من التأثير الإشعاعي بالأشعة تحت الحمراء. [ 25 ] ارتفع متوسط التركيز العالمي لمركب NF₃ في طبقة التروبوسفيرمنحوالي 0.02 جزء في التريليون (ppt، نسبة مولية للهواء الجاف) في عام 1980، إلى 0.86 جزء في التريليون في عام 2011، بمعدل زيادة قدره 0.095 جزء في التريليون سنويًا،أو حوالي 11% سنويًا، مع تدرج بين نصفي الكرة الأرضية يتوافق مع حدوث الانبعاثات بشكل رئيسي في نصف الكرة الشمالي، كما هو متوقع. يُعادل معدل الزيادة هذا في عام 2011 حوالي 1200 طن متري سنويًا من انبعاثات غاز NF3عالميًا، أو ما يُقارب 10% من تقديرات الإنتاج العالمي لغاز NF3.وهذه نسبة أعلى بكثير مما قدّرته الصناعة، مما يُعزز الحاجة إلى حصر إنتاج غاز NF3وتنظيمانبعاثاته. [ 26 ] وتشير دراسة شارك في تأليفها ممثلون عن الصناعة إلى أن مساهمة انبعاثات غاز NF3فيغازات الاحتباس الحراريالإجماليةلتصنيع الخلايا الشمسية المصنوعة من السيليكون الرقيق واضحة. [ 27 ]
قررت اتفاقية الأمم المتحدة الإطارية بشأن تغير المناخ ، في سياق بروتوكول كيوتو، إدراج ثلاثي فلوريد النيتروجين في فترة الامتثال الثانية لبروتوكول كيوتو ، والتي تبدأ في عام 2012 وتنتهي إما في عام 2017 أو 2020. وعلى غرار ذلك، يقوم بروتوكول غازات الدفيئة التابع للمجلس العالمي للأعمال من أجل التنمية المستدامة/معهد الموارد العالمية بتعديل جميع معاييره (الشركات، والمنتجات، والنطاق 3) لتشمل أيضًا ثلاثي فلوريد النيتروجين . [ 28 ]
أمان
ملامسة الجلد لـ NFالمادة 3 غير خطرة، وهي مهيجة طفيفة نسبيًاللأغشية المخاطيةوالعينين. وهي مهيجة للرئتين، لكنسميتهاأقل بكثير منأكاسيد النيتروجين، ويؤدي التعرض المفرط لها عن طريق الاستنشاق إلى تحويلالهيموجلوبينفي الدم إلىميثيموجلوبين، مما قد يُسبب حالةميثيموجلوبينية. [ 29 ] ويحدد المعهدالوطني للسلامة والصحة المهنية(NIOSH) أن التركيز الذي يُشكل خطرًا فوريًا على الحياة أو الصحة (قيمة IDLH) هو 1000 جزء في المليون. [ 30 ]
انظر أيضاً
ملحوظات
- ↑ ضغط البخار هذا هو الضغط عند درجة حرارته الحرجة - أقل من درجة حرارة الغرفة العادية .
مراجع
- ↑ منتجات الهواء؛ الخصائص الفيزيائية لثلاثي فلوريد النيتروجين
- ↑ سينك، جي سي (1967). "إنثالبي تفكك ثلاثي فلوريد النيتروجين". مجلة الكيمياء الفيزيائية . 71 (2): 359-360 . doi : 10.1021/j100861a022 .
- ↑ الكيمياء غير العضوية ، صفحة 462، على كتب جوجل
- ↑ "ثلاثي فلوريد النيتروجين" . تركيزات تشكل خطراً فورياً على الحياة أو الصحة . المعهد الوطني للسلامة والصحة المهنية .
- 1 2 3 دليل الجيب الخاص بالمعهد الوطني للسلامة والصحة المهنية (NIOSH) حول المخاطر الكيميائية. "#0455" . المعهد الوطني للسلامة والصحة المهنية (NIOSH).
- ١ ٢ ٣ ٤ ٥ فيليب ب. هندرسون، أندرو ج. وويتيك، "مركبات الفلور، غير العضوية، النيتروجين"، في موسوعة كيرك-أوتمير للتكنولوجيا الكيميائية ، ١٩٩٤، جون وايلي وأولاده، نيويورك. doi : 10.1002/0471238961.1409201808051404.a01 تاريخ نشر المقال على الإنترنت: ٤ ديسمبر ٢٠٠٠
- 1 2 "تغير المناخ 2007: الأسس العلمية الفيزيائية" (ملف PDF) . الهيئة الحكومية الدولية المعنية بتغير المناخ . تم الاطلاع عليه بتاريخ 3 يوليو 2008 .
{{cite journal}}يتطلب الاستشهاد بالمجلة ( مساعدة )|journal= - ↑ روبسون، جي آي؛ جوهر، إل كيه؛ هيرلي، إم دي؛ شاين، كيه بي ؛ والينغتون، تي. (2006). "طيف الأشعة تحت الحمراء المنقح، والكفاءة الإشعاعية، وإمكانية الاحترار العالمي لثلاثي فلوريد النيتروجين" . رسائل البحوث الجيوفيزيائية 33 (10): L10817. Bibcode : 2006GeoRL..3310817R . doi : 10.1029/2006GL026210 .
- ↑ ريتشارد مورغان (1 سبتمبر 2008). "ما وراء الكربون: قلق العلماء بشأن آثار النيتروجين" . صحيفة نيويورك تايمز . مؤرشف من الأصل في 23 يناير 2018. تم الاطلاع عليه في 7 سبتمبر 2008 .
- ^ ليدين، بنسلفانيا؛ مولوتشكو، فيرجينيا؛ أندريفا، إل إل (1995). الصحة الكيميائية للكائنات غير العضوية(باللغة الروسية). الصفحات 442-455 . رقم الكتاب المعياري الدولي (ISBN) 978-1-56700-041-2.
- ^ أوتو راف ، جوزيف فيشر، فريتز لوفت (1928). "داس ستيكستوف-3-فلوريد". Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie . 172 (1): 417-425 . دوى : 10.1002/zaac.19281720132 .
{{cite journal}}: صيانة CS1: أسماء متعددة: قائمة المؤلفين ( رابط ) - ↑ كلابوتكه، توماس م. (2006). "مركبات النيتروجين والفلور". مجلة كيمياء الفلور . 127 (6): 679-687 . doi : 10.1016/j.jfluchem.2006.03.001 .
- ↑ راف، جون ك. (1967). "مشتقات فلوريدات النيتروجين". المراجعات الكيميائية . 67 (6): 665-680 . doi : 10.1021/cr60250a004 .
- ↑ باري، روبرت دبليو، وتوماس سي. بيسو. "تحضير وخواص ثلاثي فلوريد الفوسفور-بوران وثلاثي فلوريد الفوسفور-بوران-د 3 1. " مجلة الجمعية الكيميائية الأمريكية 78، العدد 8 (1956): 1524-1527.
- 1 2 3 براذر، إم جيه؛ هسو، جيه. (2008). " NF3 ، "الغازات الدفيئة المفقودة من كيوتو".رسائل البحوث الجيوفيزيائية35(12): L12810.Bibcode:2008GeoRL..3512810P.doi:10.1029/2008GL034542.
- ↑ تساي، و. ت. (2008). "تحليل المخاطر البيئية والصحية لثلاثي فلوريد النيتروجين ( NF3 )، وهو غاز دفيئة سام وفعال.مجلةالمواد الخطرة159(2-3):257-263.doi:10.1016/j.jhazmat.2008.02.023.PMID18378075.
- ↑ هـ. رايشاردت، أ. فرينزل، وك. شوبر (2001). "إنتاج رقائق صديقة للبيئة: NF" 3 بلازما الميكروويف عن بعد لتنظيف الحجرة".هندسة الإلكترونيات الدقيقة.56(1-2):73-76.doi:10.1016/S0167-9317(00)00505-0.
- ↑ "جهود الحد من انبعاثات غازات الاحتباس الحراري: ملفات تعريف موردي شاشات العرض المسطحة" (ملف PDF) . وكالة حماية البيئة الأمريكية. 30-09-2016.
- ↑ "انبعاثات غازات الدفيئة المفلورة وإمداداتها المبلغ عنها لبرنامج الإبلاغ عن غازات الدفيئة (GHGRP)" . وكالة حماية البيئة الأمريكية. 27 سبتمبر 2015. تاريخ الاسترجاع: 5 مارس 2021 .
- ↑ ج. أوشينوو؛ أ. ريفا؛ م. بيتروف؛ ت. شوارز؛ ر. ويلاند (2009). "أداء الحفر باستخدام مزيج الأرجون/النيتروجين / الفلور لتنظيف حجرة الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الذري الطبقي". تكنولوجيا الحالة الصلبة . 52 (2): 20-24 .
- ↑ "مؤشرات تغير المناخ: تركيزات غازات الاحتباس الحراري في الغلاف الجوي - الشكل 4" . وكالة حماية البيئة الأمريكية. 27 يونيو 2016. تاريخ الاطلاع: 5 مارس 2021 .
- ↑ "قارورة الغلاف الجوي NF3" . الإدارة الوطنية للمحيطات والغلاف الجوي. 30-06-2020.
- ↑ م. روزفلت (2008-07-08). "تهديد مناخي من أجهزة التلفاز المسطحة والرقائق الإلكترونية" . صحيفة لوس أنجلوس تايمز .
- ↑ هوغ، هانا (10 يوليو/تموز 2008). "الغازات الدفيئة المفقودة" . تقارير الطبيعة عن تغير المناخ . المجلد 1، العدد 808. أخبار الطبيعة . الصفحات 99-100 . doi : 10.1038/climate.2008.72 .
- ↑ روبسون، جون. "ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3 ) " . الجمعية الملكية للأرصاد الجوية . مؤرشف من الأصل في 16 مايو 2008. تم الاسترجاع في 27 أكتوبر 2008 .
{{cite journal}}يتطلب الاستشهاد بالمجلة ( مساعدة )|journal= - ↑ أرنولد، تيم؛ هارث، سي إم؛ موهل، جيه؛ مانينغ، إيه جيه؛ سلامة، بي كيه؛ كيم، جيه؛ آيفي، دي جيه؛ ستيل، إل بي؛ بيترينكو، في في؛ سيفيرينغهاوس، جيه بي؛ باجنستوس، دي؛ فايس، آر إف (2013-02-05). "تقدير الانبعاثات العالمية لثلاثي فلوريد النيتروجين من قياسات جوية محدثة" . وقائع الأكاديمية الوطنية للعلوم في الولايات المتحدة الأمريكية . 110 ( 6): 2029-2034 . Bibcode : 2013PNAS..110.2029A . doi : 10.1073/pnas.1212346110 . PMC 3568375. PMID 23341630 .
- ↑ ف. فثيناكس؛ د. أو. كلارك؛ م. موعلم؛ م. ب. تشاندلر؛ ر. ج. ريدجواي؛ ف. إي. هولبرت؛ د. ب. كوبر؛ ب. ج. ماروليس (25-10-2010). "انبعاثات ثلاثي فلوريد النيتروجين خلال دورة حياة الخلايا الكهروضوئية". مجلة العلوم والتكنولوجيا البيئية 44 (22). الجمعية الكيميائية الأمريكية : 8750-7 . رمز Bibcode : 2010EnST...44.8750F . doi : 10.1021/es100401y . PMID 21067246 .
- ↑ ريفرز، علي (15 أغسطس 2012). "ثلاثي فلوريد النيتروجين: غاز الدفيئة الإلزامي الجديد في بروتوكول كيوتو" . Ecometrica.com . www.ecometrica.com.
- ↑ مالك، يوجيندر (2008-07-03). "ثلاثي فلوريد النيتروجين - التنظيف في التطبيقات الإلكترونية" . غازوورلد . مؤرشف من الأصل في 2008-08-04 . تم الاطلاع عليه في 2008-07-15 .
- ↑ "تركيزات تشكل خطراً فورياً على الحياة أو الصحة (IDLH): ثلاثي فلوريد النيتروجين" . المعهد الوطني للسلامة والصحة المهنية . 2 نوفمبر 2018.
روابط خارجية
- قائمة الملوثات الوطنية - صحيفة حقائق عن الفلورايد ومركباته في Wayback Machine (تمت أرشفة بتاريخ 22 ديسمبر 2003)
- مدونة قواعد الممارسة NF 3 (الرابطة الأوروبية للغازات الصناعية)]
- صفحة الكتاب الإلكتروني لـ NF 3
- دليل مركز السيطرة على الأمراض والوقاية منها - المعهد الوطني للسلامة والصحة المهنية (NIOSH) المختصر للمخاطر الكيميائية
- الأمينات غير العضوية
- فلوريدات النيتروجين
- غازات الاحتباس الحراري
- الغازات الصناعية
- مركبات النيتروجين (III)
